[发明专利]半导体成品高低温多工位测试装置在审

专利信息
申请号: 201810171393.0 申请日: 2018-03-01
公开(公告)号: CN108414912A 公开(公告)日: 2018-08-17
发明(设计)人: 邓维维;刘远华;钭晓鸥;吴勇佳;岳小兵 申请(专利权)人: 上海华岭集成电路技术股份有限公司
主分类号: G01R31/26 分类号: G01R31/26
代理公司: 上海申汇专利代理有限公司 31001 代理人: 吴宝根;徐颖
地址: 201203 上海市浦东新区中国(*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及一种半导体成品高低温多工位测试装置,由夹具底座和夹具盖组成,夹具底座上有多个半导体成品芯片放置区,夹具底座置于高低温测试区域内,夹具盖上有一通气孔,位置大小与冷热冲击机热流罩圆形进气孔匹配;夹具盖包裹盖在夹具底座上,夹具盖背面,正对夹具底座每个半导体成品芯片放置区上方均有一个出气孔,夹具盖既是一个盖,盖内又有一个一进多出的气流腔体,起到混合气流的作用。夹具占面积小,操作简便,并保证高低温受热均匀。有效地解决多工位手动测试时操作效率低,保证测试质量,提高测试效率和经济性。
搜索关键词: 夹具底座 夹具盖 半导体 高低温 多工位测试 成品芯片 放置区 夹具 高低温测试 冷热冲击机 圆形进气孔 操作效率 测试效率 混合气流 气流腔体 手动测试 受热均匀 一进多出 出气孔 多工位 通气孔 有效地 热流 正对 匹配 背面 保证 测试
【主权项】:
1.一种半导体成品高低温多工位测试装置,由夹具底座和夹具盖组成,其特征在于,夹具底座上有多个半导体成品芯片放置区,夹具底座置于高低温测试区域内,夹具盖上有一通气孔,位置大小与冷热冲击机热流罩圆形进气孔匹配;夹具盖包裹盖在夹具底座上,夹具盖内部背面,正对夹具底座每个半导体成品芯片放置区上方均有一个出气孔,即盖内有一个一进多出的气流腔体,混合气流。
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