[发明专利]半导体宽温测试方法有效

专利信息
申请号: 201810171264.1 申请日: 2018-03-01
公开(公告)号: CN108414911B 公开(公告)日: 2020-04-14
发明(设计)人: 王玉龙;张志勇;牛勇;祁建华;凌俭波 申请(专利权)人: 上海华岭集成电路技术股份有限公司
主分类号: G01R31/26 分类号: G01R31/26
代理公司: 上海申汇专利代理有限公司 31001 代理人: 吴宝根;徐颖
地址: 201203 上海市浦东新区中国(*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及一种半导体宽温测试方法,热流罩是直接罩在子板上的固定密封,对半导体成品进行高低温测试,热流罩一次固定密封即可,半导体成品是从下方取出的,插座下方为升降梯,在升降梯里有抽屉式装芯片装置,抽屉外有固定弹片,通过弹簧原理可以将固定弹片固定在升降梯顶端的固定位置里,进行测试,测试后将固定弹片向中间聚拢,抽屉式装芯片装置失去固定,可直接从升降梯滑到底部,抽出成品方便更换成品,更换后,将抽屉式装芯片装置移到顶端,进行测试。通过改造成品测试的硬件资源,达到只需设置一次热流罩即可进行批量成品的高低温测试,无需移动热流罩,保证热流罩中温度的恒定,节省了对热流罩的操作,提高了测试的效率。
搜索关键词: 半导体 测试 方法
【主权项】:
1.一种半导体宽温测试方法,其特征在于,芯片测试接口板边上会有4个固定柱,子板固定在4个固定柱上,子板位于芯片测试接口板上方,芯片测试接口板和子板之间使用排线或屏蔽线进行资源的连接,子板中央区域焊有装载成品芯片的插座,插座下方有一个升降梯连接在子板插座和芯片测试接口板之间,升降梯里有抽屉式装载芯片装置,可在升降梯内上下移动,热流罩直接罩在子板上并固定密封;当装有半导体成品的抽屉式装载芯片装置移动到升降梯顶端固定,即半导体成品从下方进入插座到位,开始可测试,热流罩导出高低温气流对半导体成品进行高低温测试,测试结束后,通过升降梯将抽屉式装载芯片装置移到底端抽出,更换半导体成品;测试和更换半导体成品时,子板与上方热流罩始终保持密封状态,热流罩一直保持均匀吹气状态。
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