[发明专利]换能器以及检查装置有效
| 申请号： | 201810164250.7 | 申请日： | 2018-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN109523687B | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 逸见和弘;小野富男 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | G07D7/08 | 分类号： | G07D7/08;H04R7/02;G01N29/12 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 于丽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及换能器以及检查装置。实施方式的换能器包括多个第1构造部和多个第2构造部。各个第2构造部的一部分被固定。各个第1构造部包括第1膜部、第1压电部、第1导电部以及第1电极。第1导电部设置于第1膜部与第1压电部之间。第1压电部位于第1导电部与第1电极之间。各个第1构造部的一部分被固定。各个第2构造部包括第2膜部、第2压电部、第2导电部以及第2电极。第2导电部设置于第2膜部与第2压电部之间。第2压电部位于第2导电部与第2电极之间。多个第2构造部在第1方向上与多个第1构造部分离。多个第2构造部的沿着第1方向的间距短于多个第1构造部的沿着第1方向的间距。 | ||
| 搜索关键词： | 换能器 以及 检查 装置 | ||
【主权项】：
1.一种换能器，具备多个第1构造部和多个第2构造部，所述多个第1构造部在第1方向上相互分离，所述多个第1构造部各自的一部分被固定，所述多个第1构造部各自包括：第1膜部；第1压电部；第1导电部，在与所述第1方向交叉的第2方向上，设置于所述第1膜部的至少一部分与所述第1压电部之间；以及第1电极，所述第1压电部的至少一部分在所述第2方向上位于所述第1导电部的至少一部分与所述第1电极之间，所述多个第2构造部在所述第1方向上相互分离，所述多个第2构造部各自的一部分被固定，所述多个第2构造部各自包括：第2膜部；第2压电部；第2导电部，在所述第2方向上设置于所述第2膜部的至少一部分与所述第2压电部之间；以及第2电极，所述第2压电部的至少一部分在所述第2方向上位于所述第2导电部的至少一部分与所述第2电极之间，所述多个第2构造部在所述第1方向上与所述多个第1构造部分离，所述多个第2构造部的沿着所述第1方向的间距短于所述多个第1构造部的沿着所述第1方向的间距。
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