[发明专利]换能器以及检查装置

说明书

本发明涉及换能器以及检查装置。实施方式的换能器包括多个第1构造部和多个第2构造部。各个第2构造部的一部分被固定。各个第1构造部包括第1膜部、第1压电部、第1导电部以及第1电极。第1导电部设置于第1膜部与第1压电部之间。第1压电部位于第1导电部与第1电极之间。各个第1构造部的一部分被固定。各个第2构造部包括第2膜部、第2压电部、第2导电部以及第2电极。第2导电部设置于第2膜部与第2压电部之间。第2压电部位于第2导电部与第2电极之间。多个第2构造部在第1方向上与多个第1构造部分离。多个第2构造部的沿着第1方向的间距短于多个第1构造部的沿着第1方向的间距。

本申请以日本专利申请2017-180598(申请日2017年9月20日)为基础，根据该申请享受优先权。本申请通过参照该申请从而包括该申请的全部内容。

技术领域

本发明的实施方式一般地涉及换能器以及检查装置。

背景技术

换能器例如将声波变换为电信号。使用了换能器的传感器用于纸张类(例如纸币)的判别(检查等)。换能器的分辨率最好为高。

发明内容

本发明的实施方式提供能够提高分辨率的换能器以及检查装置。

根据本发明的实施方式，换能器包括多个第1构造部和多个第2构造部。所述多个第1构造部在第1方向上相互分离。所述多个第1构造部各自的一部分被固定。所述多个第1构造部各自包括第1膜部、第1压电部、第1导电部以及第1电极。所述第1导电部在与所述第1方向交叉的第2方向上设置于所述第1膜部的至少一部分与所述第1压电部之间。所述第1压电部的至少一部分在所述第2方向上位于所述第1导电部的至少一部分与所述第1电极之间。所述多个第2构造部在所述第1方向上相互分离。所述多个第2构造部各自的一部分被固定。所述多个第2构造部各自包括第2膜部、第2压电部、第2导电部以及第2电极。所述第2导电部在所述第2方向上设置于所述第2膜部的至少一部分与所述第2压电部之间。所述第2压电部的至少一部分在所述第2方向上位于所述第2导电部的至少一部分与所述第2电极之间。所述多个第2构造部在所述第1方向上与所述多个第1构造部分离。所述多个第2构造部的沿着所述第1方向的间距短于所述多个第1构造部的沿着所述第1方向的间距。

根据上述结构，能够提供能够提高分辨率的换能器以及检查装置。

附图说明

图1的图1(a)以及图1(b)是例示第1实施方式的换能器的示意图。

图2的图2(a)以及图2(b)是例示第1实施方式的其它换能器的示意图。

图3的图3(a)以及图3(b)是例示第1实施方式的其它换能器的示意性俯视图。

图4是例示第1实施方式的其它换能器的示意性俯视图。

图5是例示第1实施方式的其它换能器的示意性俯视图。

图6是例示第2实施方式的换能器的示意性俯视图。

图7是例示第2实施方式的换能器的示意性剖视图。

图8的图8(a)以及图8(b)是例示第2实施方式的其它换能器的示意性俯视图。

图9是例示第2实施方式的其它换能器的示意性俯视图。

图10是例示第3实施方式的检查装置的示意图。

图11是例示第3实施方式的检查装置的示意性俯视图。

图12是例示第3实施方式的检查装置的示意性俯视图。

图13是例示第3实施方式的检查装置的示意性剖视图。

图14的图14(a)以及图14(b)是例示第3实施方式的其它检查装置的示意性俯视图。