[发明专利]换能器以及检查装置

权利要求书

1.一种换能器，具备多个第1构造部、多个第2构造部、多个第1支承部以及多个第2支承部，

所述多个第1构造部在第1方向上相互分离，所述多个第1构造部各自的一部分被固定，所述多个第1构造部各自包括：

第1膜部；

第1压电部；

第1导电部，在与所述第1方向交叉的第2方向上，设置于所述第1膜部的至少一部分与所述第1压电部之间，包含从由Au、Ag以及Cu构成的群中选择的至少1个；

第1电极，包含从所述群中选择的至少1个，所述第1压电部的至少一部分在所述第2方向上位于所述第1导电部的至少一部分与所述第1电极之间；以及

第1对置导电部，包含从所述群中选择的至少1个，所述第1膜部在所述第2方向上位于所述第1导电部与所述第1对置导电部之间，

所述多个第2构造部在所述第1方向上相互分离，所述多个第2构造部各自的一部分被固定，所述多个第2构造部各自包括：

第2膜部；

第2压电部；

第2导电部，在所述第2方向上设置于所述第2膜部的至少一部分与所述第2压电部之间，包含从所述群中选择的至少1个；

第2电极，包含从所述群中选择的至少1个，所述第2压电部的至少一部分在所述第2方向上位于所述第2导电部的至少一部分与所述第2电极之间；以及

第2对置导电部，包含从所述群中选择的至少1个，所述第2膜部在所述第2方向上位于所述第2导电部与所述第2对置导电部之间，

所述多个第2构造部在所述第1方向上与所述多个第1构造部分离，所述多个第2构造部的沿着所述第1方向的间距短于所述多个第1构造部的沿着所述第1方向的间距，

从所述多个第1支承部朝向所述多个第1构造部的方向是沿着所述第2方向的，

从所述多个第2支承部朝向所述多个第2构造部的方向是沿着所述第2方向的，

所述多个第1构造部中的一个第1构造部包括：

第1区域，在所述第2方向上与所述多个第1支承部中的一个第1支承部不重叠；

第1重复区域，在所述第2方向上与所述多个第1支承部中的所述一个第1支承部重叠；以及

在所述第2方向上，位于所述第1区域与所述第1重复区域之间、并与所述多个第1支承部中的一个第1支承部不重叠且与所述第1电极不重叠的区域，

所述多个第2构造部中的一个第2构造部包括：

第2区域，在所述第2方向上与所述多个第2支承部中的一个第2支承部不重叠；

第2重复区域，在所述第2方向上与所述多个第2支承部中的所述一个第2支承部重叠；以及

在所述第2方向上，位于所述第2区域与所述第2重复区域之间、并与所述多个第2支承部中的一个第2支承部不重叠且与所述第2电极不重叠的区域，

所述第2区域的沿着所述第1方向的长度短于所述第1区域的沿着所述第1方向的长度。