[发明专利]抗蚀剂剥离液组合物有效
| 申请号： | 201810135584.1 | 申请日： | 2018-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN108693718B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 金正铉;金圣植;高京俊 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金鲜英;宋海花 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种抗蚀剂剥离液组合物，其包含化学式1所表示的含有羟基甲基氨基的叔胺0.1～20重量％、和极性有机溶剂79～99.9重量％。下述化学式1中，R |
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| 搜索关键词： | 抗蚀剂 剥离 组合 | ||
【主权项】：
1.一种抗蚀剂剥离液组合物，其包含化学式1所表示的含有羟基甲基氨基的叔胺0.1～20重量％、和极性有机溶剂79～99.9重量％，化学式1![]()
所述化学式1中，R1和R2各自独立地为碳原子数1～5的烷基、碳原子数1～5的羟基烷基或碳原子数1～5的烷氧基。
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