[发明专利]抗蚀剂剥离液组合物

权利要求书

1.一种用于提高溶解力的抗蚀剂剥离液组合物，其包含化学式1所表示的含有羟基甲基氨基的叔胺0.1～20重量％、和极性有机溶剂79～99.9重量％，

所述抗蚀剂剥离液组合物对于Al下部金属膜、Mo下部金属膜、Cu下部金属膜和Ti下部金属膜具有防腐蚀力，

化学式1

所述化学式1中，R₁和R₂各自独立地为碳原子数1～5的烷基、碳原子数1～5的羟基烷基或碳原子数1～5的烷氧基。

2.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，进一步包含化学式2所表示的化合物0.001～1.0重量％，

化学式2

所述化学式2中，R₃、R₄、R₅和R₆各自独立地为氢或碳原子数1～4的烷基。

3.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，所述化学式1所表示的含有羟基甲基氨基的叔胺为选自由2-((羟基甲基)(甲基)氨基)乙醇、2-((羟基甲基)(乙基)氨基)乙醇、2-((羟基乙基)(羟基甲基)氨基)乙醇和3-((羟基甲基)(甲基)氨基)丙醇组成的组中的一种以上。

4.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，所述极性有机溶剂包含质子性极性有机溶剂和非质子性极性有机溶剂中的一种以上。

5.根据权利要求4所述的抗蚀剂剥离液组合物，所述质子性极性有机溶剂为选自由乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚、乙二醇单异丙基醚、乙二醇单丁基醚、二乙二醇单甲基醚、二乙二醇单乙基醚、二乙二醇单异丙基醚、二乙二醇单丁基醚、三乙二醇单甲基醚、三乙二醇单乙基醚、三乙二醇单异丙基醚、三乙二醇单丁基醚、聚乙二醇、聚丙二醇、聚乙二醇单甲基醚、聚乙二醇单丁基醚、丙二醇单甲基醚、二丙二醇单甲基醚、三丙二醇单甲基醚、丙二醇单甲基醚乙酸酯和四氢糠醇组成的组中的一种以上；所述非质子性极性有机溶剂为选自由N-甲基吡咯烷酮、N-乙基吡咯烷酮、1,3-二甲基-2-咪唑啉酮、1,3-二丙基-2-咪唑啉酮、γ-丁内酯、二甲基亚砜(DMSO)、环丁砜、磷酸三乙酯、磷酸三丁酯、碳酸二甲酯、碳酸亚乙酯、甲酰胺、N-甲基甲酰胺、N-乙基甲酰胺、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二乙基甲酰胺、乙酰胺、N-甲基乙酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、N-(2-羟基乙基)乙酰胺、N,N-二甲基丙酰胺、3-甲氧基-N,N-二甲基丙酰胺、3-(2-乙基己基氧基)-N,N-二甲基丙酰胺和3-丁氧基-N,N-二甲基丙酰胺组成的组中的一种以上。

6.根据权利要求2所述的抗蚀剂剥离液组合物，所述化学式2所表示的化合物为选自由6-甲基-4,5,6,7-四氢-1H-苯并[1,2,3]三唑、5,6-二甲基-4,5,6,7-四氢-1H-苯并[1,2,3]三唑和4,6-二甲基-4,5,6,7-四氢-1H-苯并[1,2,3]三唑组成的组中的一种以上。