[发明专利]一种体声波谐振器与表面声波谐振器的混合式声波谐振器在审
| 申请号： | 201810127937.3 | 申请日： | 2018-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN108173531A | 公开（公告）日： | 2018-06-15 |
| 发明（设计）人： | 廖珮淳 | 申请（专利权）人： | 武汉衍熙微器件有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/05;H03H9/17 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 王丹 |
| 地址： | 430205 湖北省武汉市江夏区经济开发区*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种体声波谐振器与表面声波谐振器的混合式声波谐振器，包括由下到上依次设置的基底、底电极、压电层和顶电极，基底与底电极之间形成第一反射层，从而构成体声波谐振器；在同一压电层上形成叉指电极，基底与压电层之间形成第二反射层，从而构成表面声波谐振器。本发明通过整合工艺，直接在同一压电层上形成体声波谐振器的顶电极和表面声波谐振器的叉指电极，缩减了工艺流程，避免原工艺中出现的压电基板破裂或严重翘曲现象，同时能够通过调节表面声波谐振器的参数，达到抑制体声波谐振器的横向寄生模态和抑制声波倍频的功效。 1 | ||
| 搜索关键词： | 声波谐振器 表面声波谐振器 压电层 基底 叉指电极 底电极 顶电极 反射层 种体 声波 压电基板 严重翘曲 依次设置 工艺流程 构成体 形成体 抑制体 倍频 寄生 模态 整合 破裂 | ||
【主权项】：
1.一种体声波谐振器与表面声波谐振器的混合式声波谐振器，其特征在于：它包括：由下到上依次设置的基底、底电极、压电层和顶电极，基底与底电极之间形成第一反射层，从而构成体声波谐振器；在同一压电层上形成叉指电极，基底与压电层之间形成第二反射层，从而构成表面声波谐振器。2.根据权利要求1所述的体声波谐振器与表面声波谐振器的混合式声波谐振器，其特征在于：所述的第一反射层为凸起的空气腔、在基底上刻蚀孔洞形成的空气腔或由高声阻与低声阻材料交叠形成的布拉格反射镜。3.根据权利要求1所述的体声波谐振器与表面声波谐振器的混合式声波谐振器，其特征在于：所述的第二反射层为凸起的空气腔、在基底上刻蚀孔洞形成的空气腔或由高声阻与低声阻材料交叠形成的布拉格反射镜。4.根据权利要求1所述的体声波谐振器与表面声波谐振器的混合式声波谐振器，其特征在于：所述的表面声波谐振器中，压电层直接在基底上形成；所述的底电极只存在于所述的体声波谐振器中。5.根据权利要求1至4中任意一项所述的体声波谐振器与表面声波谐振器的混合式声波谐振器，其特征在于：所述的压电层为具有压电特性的材料。6.根据权利要求5所述的体声波谐振器与表面声波谐振器的混合式声波谐振器，其特征在于：所述的具有压电特性的材料为AlN、AlScN、ZnO、PZT、BST、LiNO3、LiTaO3中的一种。
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