[发明专利]主动元件基板及其制造方法

摘要

一种主动元件基板包括基板及主动元件。主动元件包括凸起物、位于凸起物上的栅极、半导体层、位于栅极与半导体层之间的栅极绝缘层、与半导体层电性连接的第一、二电极。凸起物具有第一上表面、第二上表面、内侧面及外侧面。第二上表面与基板的距离大于第一上表面与基板的距离。内侧面与第一上表面定义凹部。内侧面、第二上表面及外侧面定义凸部。半导体层位于第一上表面、内侧面、第二上表面及外侧面。第一电极位于至少部分的外侧面。第二电极位于凸起物的凹部。凸部隔开第一电极与第二电极。此外，上述主动元件基板的制造方法也被提出。

主权项

1.一种主动元件基板，包括：一基板；至少一主动元件，位于该基板上，该主动元件包括：一凸起物，位于该基板上且具有：一第一上表面；一第二上表面，该第二上表面与该基板的距离大于该第一上表面与该基板的距离；一内侧面，连接于该第一上表面与该第二上表面之间，其中该内侧面与该第一上表面定义一凹部；以及一外侧面，与该第二上表面相连于至少一侧边，其中该内侧面、该第二上表面及该外侧面定义一凸部；一栅极，覆盖该凸起物；一半导体层，位于该凸起物的该第一上表面、该内侧面、该第二上表面以及该外侧面；一栅极绝缘层，位于该栅极与该半导体层之间；一第一电极，位于该凸起物的至少部分的该外侧面且与该半导体层电性连接；以及一第二电极，位于该凸起物的该凹部且与该半导体层电性连接，其中该凸起物的该凸部隔开该第一电极与该第二电极；以及至少一像素电极，该像素电极与对应的该主动元件的该第二电极电性连接。