[发明专利]半导体元件影像测试装置有效
申请号: | 201810040150.3 | 申请日: | 2018-01-16 |
公开(公告)号: | CN110044914B | 公开(公告)日: | 2023-07-14 |
发明(设计)人: | 蔡秉谚;宋柏宽 | 申请(专利权)人: | 京元电子股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95;G01N21/01 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 中国台湾新*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明是有关于一种半导体元件影像测试装置,包括有一测试头、一针测机以及至少一影像撷取卡,所述测试头包括有一测试载板及多个插设于测试载板的测试卡,所述针测机包括有一测试接口板、一与该测试接口板电连接的探针卡以及多个探针。其中,至少一影像撷取卡插设于至少一转接板上,至少一转接板包括一第一端部及一第二端部,第一端部电连接测试载板,第二端部电连接测试接口板,有效改善影像撷取卡的换装方式,提升信号传输时的测试带宽,同时具备灵活的系统配置,可配合产品不同的待测数量进行调整,取得最佳的测试效率。 | ||
搜索关键词: | 半导体 元件 影像 测试 装置 | ||
【主权项】:
1.一种半导体元件影像测试装置,包括有:一测试头、一针测机、至少一影像撷取卡以及至少一转接板,该测试头包括有一测试载板及多个插设于该测试载板的测试卡,该针测机包括有一测试接口板、一与该测试接口板电连接的探针卡以及多个探针;其特征在于,该至少一影像撷取卡插设于至少一转接板上,该至少一转接板包括一第一端部及一第二端部,该第一端部电连接该测试载板,该第二端部电连接该测试接口板,有效改善影像撷取卡的换装方式,并提升信号传输时的测试带宽。
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