[发明专利]一种自带参考气室的光电探测器及其制备方法有效
申请号: | 201810036930.0 | 申请日: | 2018-01-15 |
公开(公告)号: | CN108258061B | 公开(公告)日: | 2019-09-17 |
发明(设计)人: | 刘统玉;宁雅农;孟辉;宋成祥;金光贤;李艳芳;魏玉宾;王寅;王兆伟 | 申请(专利权)人: | 山东微感光电子有限公司 |
主分类号: | H01L31/0203 | 分类号: | H01L31/0203;H01L31/101;H01L31/18 |
代理公司: | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人: | 黄海丽 |
地址: | 250101 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明设计了一种自带参考气室的光电探测器及其制备方法,将TO‑can光电探测器的TO管座与光学元件焊封;TO管座与光学元件之间的空间组成参考气室,判断TO管座与光学元件之间是否焊接严密,如果焊接不严密,则将焊接后的将TO‑can光电探测器和光学元件放入被测气体环境中,被测气体在高压下通过焊缝充入参考气室内;利用紫外光胶将焊缝密封;在紫外光胶凝固后,再焊缝处涂上两层防潮胶;如果焊接严密,则在光学元件的侧壁打孔,然后用针管将被测气体注入参考气室内;然后利用紫外光胶将孔密封,当紫外光胶凝固后,再涂上两层防潮胶。本发明是光学光谱吸收气体传感器的关键器件,它的集成和稳定对保证测量精度起重要的作用。 | ||
搜索关键词: | 光学元件 光电探测器 紫外光胶 焊接 被测气体 参考气室 防潮胶 两层 自带 制备 凝固 室内 侧壁打孔 关键器件 光学光谱 焊缝密封 空间组成 吸收气体 参考 焊缝 焊缝处 孔密封 传感器 放入 焊封 针管 测量 保证 | ||
【主权项】:
1.一种自带参考气室的光电探测器的制备方法,其特征是,包括:TO‑can光电探测器的TO管座上的光敏元件与TO管帽的透镜的透光面之间的空间组成参考气室,将TO管座与TO管帽利用封帽机焊封;然后,将焊接后的TO‑can光电探测器放入被测气体环境中,增加被测气体气压;如果TO管座与TO管帽之间焊接不严密,被测气体将在高气压作用下,通过TO管座与TO管帽之间焊缝空隙充入参考气室内;然后,利用紫外光胶将焊缝密封;最后,在紫外光胶凝固后,在焊缝处涂上两层防潮胶。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的