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- [发明专利]光学量测方法-CN201410505496.8有效
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蔡博修;黄怡
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中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
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2014-09-26
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2018-08-10
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H01L21/66
- 一种光学量测方法,包括:获得待测光学散射光谱;获得与待测光学散射光谱匹配的多个标准光学散射光谱;提供对空白晶圆进行光斑照射所得到的空白光学散射光谱,将每个标准光学散射光谱与空白光学散射光谱进行叠加,对应每个标准光学散射光谱得到多个叠加光学散射光谱;将待测光学散射光谱与所有的叠加光学散射光谱进行第二次匹配,获得多个第二匹配度;若所有第二匹配度均小于所有第一匹配度,输出匹配度最高的标准光学散射光谱对应的标准结构参数;若至少一第二匹配度大于第一匹配度,返回使用光斑照射光学检测结构的步骤。第二次匹配可用于检验第一次匹配结构的准确性,以确保最终的光学量测结果的准确性。这显著提升了光学量测结果的准确性。
- 光学方法
- [发明专利]光学分析系统-CN200380107083.4有效
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R·F·M·亨德里克斯
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皇家飞利浦电子股份有限公司
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2003-11-21
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2006-02-01
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G01J3/28
- 光学分析系统(1)设置成确定光学信号的主成分的振幅。光学分析系统(1)包括用于探测由第一光谱加权函数加权的光学信号的第一探测器(5),以及用于探测由第二光谱加权函数加权的光学信号的第二探测器(6)。为了改进信噪比,光学分析系统(1)进一步包括色散元件(2),用于光谱色散光学信号;并包括分配元件(4),用于接收光谱色散光学信号,并用于将由第一光谱加权函数加权的第一部分光学信号分配到第一探测器(5)且将由第二光谱加权函数加权的第二部分光学信号分配到第二探测器光谱分析系统(30)和血液分析系统(40)均包括根据本发明的光学分析系统(1)。
- 光学分析系统
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