[发明专利]版图的仿真图像和硅片SEM图像自动匹配的方法有效
| 申请号： | 201810024871.5 | 申请日： | 2018-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN108257166B | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 伍思昕;金晓亮;袁春雨;冯佳计 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/33 | 分类号： | G06T7/33;G06T7/13;G06T7/155 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴广志 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种版图的仿真图像和硅片SEM图像自动匹配的方法，包括如下步骤：步骤1、提取SEM图像中硅片版图的内轮廓图像；步骤2、从硅片版图的内轮廓图像提取模板图像；步骤3、使用模板匹配算法将模板图像分别与版图的仿真图像匹配，选出最佳匹配的模板图像以及与它对应的旋转角度、放大或缩小倍数、模板中心在版图的仿真图像上的匹配坐标。本发明能够自动实现版图的仿真图像和硅片SEM图像的匹配。 | ||
| 搜索关键词： | 版图 仿真 图像 硅片 sem 自动 匹配 方法 | ||
【主权项】：
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