[发明专利]一种用于异形晶片的承载装置

摘要

本发明公开了一种用于异形晶片的承载装置，包括连接杆、侧板、提栏和支杆，两根连接杆连接固定两块侧板，一根连接杆连接固定提栏的上端，提栏的下端分别固定在侧板上；侧板上设有用于调节两根支杆间距，承载不同尺寸晶片的侧板轨道，支杆两端固定在侧板轨道上；侧板上还设有用于精确控制晶片腐蚀区域的侧板垂直刻度以及用于精确调整支杆间距的侧板水平刻度，两根支杆上分别刻有若干个用于承载待腐蚀晶片的凹槽。采用本承载装置可以灵活调整，适应不同尺寸的非标产品摆放，带有刻度可精确控制样品摆放位置及对样品腐蚀区域的控制。可以实现多片统一处理，提高工作效率、操作规范性、降低操作风险、减少样品破坏面积。

主权项

一种用于异形晶片的承载装置，其特征在于，所述承载装置包括连接杆（1）、两侧侧板（2）、两侧提栏（3）和两根支杆（4），其中通过两根连接杆（1）连接固定两块侧板（2）的底部，通过一根连接杆（1）连接固定两侧提栏（3）的上端，两侧提栏（3）的下端分别固定在两侧侧板（2）上；两侧侧板（2）上设有用于调节两根支杆（4）间距，承载不同尺寸晶片的侧板轨道（2‑1），两根支杆（4）两端分别固定在侧板轨道（2‑1）上；两侧侧板（2）上还设有用于精确控制晶片腐蚀区域的侧板垂直刻度（2‑2）以及用于精确调整支杆（4）间距的侧板水平刻度（2‑3），两根支杆（4）上分别刻有若干个用于承载待腐蚀晶片的凹槽（4‑1）。