[发明专利]一种ZnO纳米线紫外探测器在N2氛围下的封装方法

摘要

一种ZnO纳米线紫外探测器在N2氛围下的封装方法，涉及紫外探测技术领域与封装领域。具体地说是利用集成电路一级封装中的金属封装，针对ZnO纳米线紫外探测器在N2氛围下的封装，采用固定的带窗口的金属管底座和管帽，同时利用储能焊工艺及修饰液，保证ZnO纳米线紫外探测器的高增益特性和封装后器件整体的稳定性。

主权项

1.一种ZnO纳米线紫外探测器在N2氛围下的封装方法，其特征在于，包括以下步骤：a、对金属管帽和金属管底座进行清洗，清洗后再烘干；金属管底座的顶端设有透明材质的窗口；b、用导电胶将ZnO纳米线紫外探测器件固定在所述的金属管底座中间，并进行压焊工艺；c、将修饰液滴在ZnO纳米线紫外探测器件上，完全覆盖ZnO纳米线紫外探测器件，并将金属管底座放入烘箱内进行烘烤；d、在N2氛围下，采用储能焊技术将所述的管帽盖在所述的烘烤后的管座上进行封装，管帽与管座之间充满干燥的氮气。