[发明专利]一种光电探测单元及其制造方法、光电探测设备

摘要

本发明实施例公开了一种光电探测单元及其制造方法、光电探测设备。该光电探测单元包括衬底基板，设置于衬底基板上的薄膜晶体管器件，包括有源层，栅极，源极和漏极，在栅极信号的作用下，利用有源层将源极和漏极连接；设置于衬底基板上的光电探测器件，用于在光子作用下激发出光电流，产生电信号，包括位于衬底基板上的光电转换层，与光电转换层接触的电极层。其中，有源层与光电转换层同层设置；第一电极与源极电连接，用于传输产生的电信号。该单元具有制作工艺简单，结构轻薄，光电转换效率高的优点。

主权项

1.一种光电探测单元，其特征在于，包括：衬底基板，设置于所述衬底基板上的薄膜晶体管器件和光电探测器件；其中，所述薄膜晶体管器件包括：有源层，栅极，栅绝缘层，源极和漏极；所述光电探测器件包括：光电转换层和电极层；所述电极层与所述光电转换层接触，所述电极层包括相互独立的第一电极与第二电极；以及，所述有源层与所述光电转换层同层设置；所述第一电极与所述源极电连接。