[其他]磁悬浮系统、真空系统有效
| 申请号： | 201790001802.1 | 申请日： | 2017-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN212517117U | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 克里斯蒂安·沃尔夫冈·埃曼;拉尔夫·林登贝格 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供磁悬浮系统，用于在运输方向(T)上沿着运输路径运输载体(10)。磁悬浮系统包含被构造为用非接触的方式在载体运输空间(15)中保持载体(10)的一个或多个主动磁性轴承(121)、具有至少一个被动磁体(131)的侧向稳定装置(130)和调整装置(150)；侧向稳定装置(130)被构造为在横向于运输方向(T)的横向方向(L)上向载体(10)上施加回复力(F)；调整装置(150)被构造为调整由以下项组成的群组中的一者或多者：至少一个被动磁体(131)的磁场强度、至少一个被动磁体(131)相对于载体运输空间的位置、至少一个被动磁体(131)的取向或角位置、和磁屏蔽元件(650)相对于至少一个被动磁体(131)的位置。还提供真空系统，包含上述磁悬浮系统。 | ||
| 搜索关键词： | 磁悬浮 系统 真空 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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