[其他]磁悬浮系统、真空系统

说明书

提供磁悬浮系统，用于在运输方向(T)上沿着运输路径运输载体(10)。磁悬浮系统包含被构造为用非接触的方式在载体运输空间(15)中保持载体(10)的一个或多个主动磁性轴承(121)、具有至少一个被动磁体(131)的侧向稳定装置(130)和调整装置(150)；侧向稳定装置(130)被构造为在横向于运输方向(T)的横向方向(L)上向载体(10)上施加回复力(F)；调整装置(150)被构造为调整由以下项组成的群组中的一者或多者：至少一个被动磁体(131)的磁场强度、至少一个被动磁体(131)相对于载体运输空间的位置、至少一个被动磁体(131)的取向或角位置、和磁屏蔽元件(650)相对于至少一个被动磁体(131)的位置。还提供真空系统，包含上述磁悬浮系统。

技术领域

本公开内容的多个实施方式有关于一种用于运输载体的磁悬浮系统。更具体来说，描述了一种被构造为沿着运输路径进行非接触式载体运输的磁悬浮系统。另外的多个实施方式有关于一种包含磁悬浮系统的真空系统。更具体来说，描述的一种磁悬浮系统被构造为通过真空系统非接触地运输载体，其中载体可 (特别是在基本垂直取向上)承载例如基板或掩模的物体。

背景技术

一种可用于沿着磁悬浮系统的运输轨道非接触式运输载体的磁悬浮系统，例如在低大气压力(sub-atmospheric pressure)的真空系统中。由载体承载的物体(例如基板或掩模)可从真空系统中的第一位置(即装载模块)运输至真空系统中的第二位置(例如沉积模块)。磁悬浮系统可非接触且因此无摩擦地运输载体，且可减少真空系统中小颗粒的产生。真空系统中的小颗粒可对真空系统中沉积于基板上的层的品质有负面影响。

磁悬浮系统典型地包含一个或多个主动控制磁性轴承，所述一个或多个主动控制磁性轴承被构造为在磁悬浮系统的基座结构处非接触地保持载体。载体可在载体运输空间中被非接触地保持和/或运输，所述载体运输空间可由基座结构界定。

磁悬浮系统可允许在运输方向上沿着运输路径的非接触式载体运输。然而，在垂直于运输方向的横向方向上移动载体离开运输路径可能是困难的，例如，这是因为磁悬浮系统的磁场使载体保持在运输路径上。然而，在一些应用中，移动载体离开运输路径可为有益的，例如，为了使载体移动至从运输路径横向偏移的第二运输路径。载体从第一运输路径至第二运输路径的切换在本文可称为“轨道切换”。

因此，增加磁悬浮系统提供的运输灵活性是有益的。尤其，使载体得以在垂直于磁悬浮系统的运输方向的横向方向进行移动是有益的。进一步地，以灵活且可靠的方式提供在真空系统中非接触地运输载体的方法是有益的。

实用新型内容

鉴于以上，提供一种磁悬浮系统、一种真空系统、以及运输载体的方法。

根据本公开内容的一个方面，提供一种用于在运输方向上沿着运输路径运输载体的磁悬浮系统。磁悬浮系统包含一个或多个主动磁性轴承与具有至少一个被动磁体的侧向稳定装置，所述一个或多个主动磁性轴承被构造为在由磁悬浮系统提供的载体运输空间中非接触地保持载体，所述侧向稳定装置被构造为在横向于运输方向的横向方向上在载体上施加回复力。磁悬浮系统更包含被构造为调整由以下项组成的群组中的一者或多者的调整装置：(i)至少一个被动磁体的磁场强度、(ii)至少一个被动磁体相对于载体运输空间的位置、(iii) 至少一个被动磁体的取向或角位置、和(iv)磁屏蔽元件相对于至少一个被动磁体的位置。

侧向稳定装置可通过在载体上施加回复力于使载体稳定在预定横向位置处，所述回复力驱使载体在横向方向上朝向预定横向位置。在载体在横向方向上距离载体运输空间存在位移的情况下，调整装置可被构造为通过侧向稳定装置调整施加于载体上的回复力。

尤其，调整装置可被构造为减少回复力，使得可在横向方向上更容易地移动载体离开侧向稳定装置，例如为了进行轨道切换。

在一些实施方式中，所述磁悬浮系统可更包含轨道切换组件，被构造为在所述横向方向上移动所述载体离开所述运输路径。