[发明专利]用于制造太阳能电池的基板上的丝网印刷的设备、丝网装置、系统和方法在审
| 申请号: | 201780091363.2 | 申请日: | 2017-05-30 |
| 公开(公告)号: | CN110710001A | 公开(公告)日: | 2020-01-17 |
| 发明(设计)人: | 达维德·科莱;马可·加里亚佐;乔治·塞莱尔 | 申请(专利权)人: | 应用材料意大利有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;B41F15/08 |
| 代理公司: | 11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人: | 徐金国;赵静 |
| 地址: | 意大利圣比亚*** | 国省代码: | 意大利;IT |
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| 摘要: | 本公开内容提供了一种用于制造太阳能电池的基板(10)上的丝网印刷的设备(100)。设备(100)包括检测装置(110)和定位装置(120),检测装置(110)经配置以读取一个或多个丝网装置(200)上的识别构件(220),以获得关于一个或多个丝网装置(200)的一个或多个特性的信息,并且定位装置(120)经配置以基于由检测装置(110)所获得的一个或多个特性,来相对于基板(10)和基板(10)上的线图案中的至少一个定位一个或多个丝网装置(200)。 | ||
| 搜索关键词: | 检测装置 丝网装置 基板 定位装置 读取 太阳能电池 内容提供 识别构件 丝网印刷 线图案 配置 制造 | ||
【主权项】:
1.一种用于制造太阳能电池的基板上的丝网印刷的设备,包括:/n检测装置,经配置以辨识在一个或多个丝网装置上的识别构件,以获得关于所述一个或多个丝网装置的一个或多个特性的信息;和/n定位装置,经配置以基于由所述检测装置所获得的所述一个或多个特性,来相对于所述基板和在所述基板上的线图案中的至少一个定位所述一个或多个丝网装置。/n
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H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
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