[发明专利]用于制造太阳能电池的基板上的丝网印刷的设备、丝网装置、系统和方法在审
| 申请号: | 201780091363.2 | 申请日: | 2017-05-30 |
| 公开(公告)号: | CN110710001A | 公开(公告)日: | 2020-01-17 |
| 发明(设计)人: | 达维德·科莱;马可·加里亚佐;乔治·塞莱尔 | 申请(专利权)人: | 应用材料意大利有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;B41F15/08 |
| 代理公司: | 11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人: | 徐金国;赵静 |
| 地址: | 意大利圣比亚*** | 国省代码: | 意大利;IT |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 检测装置 丝网装置 基板 定位装置 读取 太阳能电池 内容提供 识别构件 丝网印刷 线图案 配置 制造 | ||
1.一种用于制造太阳能电池的基板上的丝网印刷的设备,包括:
检测装置,经配置以辨识在一个或多个丝网装置上的识别构件,以获得关于所述一个或多个丝网装置的一个或多个特性的信息;和
定位装置,经配置以基于由所述检测装置所获得的所述一个或多个特性,来相对于所述基板和在所述基板上的线图案中的至少一个定位所述一个或多个丝网装置。
2.如权利要求1所述的设备,其中从包括所述一个或多个丝网装置的几何属性和所述一个或多个丝网装置的分类的组中选择所述一个或多个特性。
3.如权利要求1或2所述的设备,其中所述定位装置经配置以基于由所述检测装置所获得的所述一个或多个特性,来相对于所述基板和在所述基板上的所述线图案中的至少一个对准所述一个或多个丝网装置的至少一个丝网装置。
4.如权利要求1至3的任一项所述的设备,其中所述设备经配置以基于由所述检测装置所获得的所述一个或多个特性,来选择所述一个或多个丝网装置的两个或更多个丝网装置,用于在所述基板上的多印刷处理。
5.如权利要求1至4的任一项所述的设备,其中所述检测装置包括以下项目中的至少一个:
读取器,经配置以读取所述一个或多个丝网装置的条形码和RFID芯片中的至少一个,以获得关于所述一个或多个特性的信息;和
光学装置,经配置以视觉地获得关于所述一个或多个特性的信息。
6.如权利要求1至5的任一项所述的设备,进一步包括通信单元,经配置以与数据库通信,以从所述数据库获得关于所述一个或多个特性的信息。
7.一种用于制造太阳能电池的基板上的丝网印刷的丝网装置,包括:
一个或多个孔,限定要沉积在所述基板上方的线图案;和
识别构件,其中所述识别构件经配置以提供对所述丝网装置的一个或多个特性的存取。
8.如权利要求7所述的丝网装置,进一步包括在所述一个或多个孔内的线结构。
9.一种用于制造太阳能电池的基板上的丝网印刷的系统,包括:
权利要求1至6的任一项所述的设备;和
权利要求7至8的任一项所述的丝网装置。
10.如权利要求9所述的系统,进一步包括具有所述数据库的服务器,所述数据库具有所述一个或多个特性。
11.如权利要求8或9所述的系统,其中所述一个或多个丝网装置是包括第一丝网装置和第二丝网装置的两个或更多个丝网装置,
其中所述第一丝网装置具有第一识别构件,所述第一识别构件经配置以相对于所述第一丝网装置的一个或多个孔提供对一个或多个第一特性的存取,
其中所述第二丝网装置具有第二识别构件,所述第二识别构件经配置以相对于所述第二丝网装置的一个或多个孔提供对一个或多个第二特性的存取,
其中所述定位装置经配置以基于由所述检测装置所获得的所述一个或多个第一特性,来相对于所述基板进行选择所述第一丝网装置和对准所述第一丝网装置中的至少一个,用于沉积第一线图案,并且
其中所述定位装置经配置以基于由所述检测装置所获得的所述一个或多个第二特性,来相对于所述第一线图案进行选择所述第二丝网装置和对准所述第二丝网装置中的至少一个,用于在所述第一线图案上方沉积第二线图案。
12.一种用于制造太阳能电池的基板上的丝网印刷的方法,包括以下步骤:
辨识在一个或多个丝网装置上的识别构件,以获得关于所述一个或多个丝网装置的一个或多个特性的信息;和
基于所获得的关于所述一个或多个特性的信息,来相对于所述基板和在所述基板上的线图案中的至少一个进行选择所述一个或多个丝网装置和对准所述一个或多个丝网装置中的至少一个。
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