[发明专利]固持器、清洁光掩模的方法以及开关固持器的装置

摘要

本发明涉及一种固持或保护光掩模或是具有防尘薄膜的光掩模的侧边免受清洁媒介影响的固持器、清洁此类光掩模的方法以及开关固持器的装置。固持器具有：基座，具有至少三个支撑组件，设置在距离基座的底部一距离处，以固持及保持所述光掩模或具有防尘薄膜的光掩模，且具有具上部侧与下部侧的密封框，其中下部侧可安放于基座上，且其中密封框具有中心开口，其经设定大小使得中心开口可以间隔的方式容纳光掩模。周围弹性密封组件设置于密封框上，以与密封框的上部侧呈角度从中心开口的内周围延伸至中心开口，其中，在空载状态下，密封组件具有小于光掩模的外周围的内周围，且在负载状态下，密封组件周向性地在侧边缘处接触容纳于中心开口中的光掩模。

主权项

1.一种固持器，接收以及保护光掩模或是具有防尘薄膜的光掩模的侧边免受清洁媒介影响，所述固持器包括：基座，具有至少三个支撑组件，所述支撑组件经配置以用于接收以及固持从所述基座的底部表面隔开的所述光掩模或具有防尘薄膜的所述光掩模；密封框，具有上部侧以及下部侧，其中所述下部侧可设置于所述基座上，且其中所述密封框包括中心开口，所述中心开口经设定大小使得其可以间隔方式接收所述光掩模；周围弹性密封组件，位于所述密封框处，所述周围弹性密封组件以倾斜方式朝向所述密封框的所述上部侧从所述中心开口的内周围延伸至所述中心开口中，其中在空载状态下的所述密封组件具有内周围，所述内周围小于所述光掩模的外周围，且在负载状态下的所述密封组件可周向性地接触所述光掩模，所述光掩模接收于所述中心开口中的侧表面处。