[发明专利]固持器、清洁光掩模的方法以及开关固持器的装置有效
申请号: | 201780081883.5 | 申请日: | 2017-11-16 |
公开(公告)号: | CN110291461B | 公开(公告)日: | 2021-08-31 |
发明(设计)人: | 杰士·克鲁伯格;亚当·贝沙;伍威·戴兹 | 申请(专利权)人: | 休斯微科光罩仪器股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G03F1/66 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 黄隶凡;刘培培 |
地址: | 德国斯特内弗*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 固持器 清洁 光掩模 方法 以及 开关 装置 | ||
1.一种固持器,接收以及保护光掩模或是具有防尘薄膜的光掩模的上表面或下表面免受清洁媒介影响,所述固持器包括:
基座,具有至少三个支撑组件,所述支撑组件经配置以用于接收以及固持从所述基座的底部表面隔开的所述光掩模或具有防尘薄膜的所述光掩模;
密封框,具有上部侧以及下部侧,其中所述下部侧可设置于所述基座上,且其中所述密封框包括中心开口,所述中心开口经设定大小使得其可以间隔方式接收所述光掩模;
周围弹性密封组件,位于所述密封框处,所述周围弹性密封组件以倾斜方式朝向所述密封框的所述上部侧从所述中心开口的内周围延伸至所述中心开口中,其中在空载状态下的所述周围弹性密封组件具有内周围,所述内周围小于所述光掩模的外周围,且在负载状态下的所述周围弹性密封组件可周向性地接触所述光掩模,所述光掩模接收于所述中心开口中的侧表面处。
2.根据权利要求1所述的固持器,其中所述支撑组件经配置使得其仅在所述光掩模的边缘处接触所述光掩模。
3.根据权利要求1或2所述的固持器,其中所述支撑组件各自具有一个或两个倾斜的支撑表面。
4.根据权利要求1所述的固持器,其中在所述空载状态下的所述周围弹性密封组件以均一方式在2.5毫米至3.5毫米的距离内从所述中心开口的所述内周围延伸至所述中心开口中。
5.根据权利要求1所述的固持器,其中所述周围弹性密封组件经设定大小使得在所述空载状态下其与所述光掩模的边缘区域重迭,所述光掩模的所述边缘区域关于所述周围弹性密封组件以0.4毫米至1毫米定中心。
6.根据权利要求1所述的固持器,其中所述周围弹性密封组件具有在1毫米与3毫米的范围内的厚度以及在25°至75°的范围内的肖氏硬度A。
7.根据权利要求1所述的固持器,其中所述周围弹性密封组件在所述空载状态下以及在所述密封框中安装所述周围弹性密封组件之前具有扁平架构。
8.根据权利要求1所述的固持器,其中所述周围弹性密封组件具有矩形的内周围,其中所述内周围的拐角经磨圆以及具有在2毫米至4毫米范围内的半径。
9.根据权利要求1所述的固持器,其中所述周围弹性密封组件具有矩形的架构以及在其外周围上在至少两个相对的边缘区域处具有安装凸耳。
10.根据权利要求1所述的固持器,其中所述周围弹性密封组件抵抗待使用的所述清洁媒介以及/或UV辐射。
11.根据权利要求1所述的固持器,其中所述密封框具有上部部分以及下部部分,所述上部部分以及所述下部部分以可拆卸方式彼此附接,且其中所述周围弹性密封组件夹持于所述上部部分与所述下部部分之间。
12.根据权利要求11所述的固持器,其中所述上部部分以及所述下部部分形成所述周围弹性密封组件的周围接收空间,所述周围接收空间朝向所述中心开口打开,朝向所述中心开口成楔形以及以倾斜方式朝向所述中心开口朝向所述密封框的所述上部侧延伸。
13.根据权利要求12所述的固持器,其中所述周围弹性密封组件的所述周围接收空间朝向所述密封框的所述上部侧平均倾斜29°。
14.根据权利要求12或13所述的固持器,其中所述周围接收空间在其面向所述中心开口的末端处具有小于所述周围弹性密封组件的厚度的高度。
15.根据权利要求14所述的固持器,其中面向所述中心开口的所述周围接收空间的末端具有比所述周围弹性密封组件的厚度小10%至20%的高度。
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