[发明专利]用于制造具有背侧多晶硅钝化接触的光伏电池的方法在审

专利信息
申请号: 201780079743.4 申请日: 2017-12-21
公开(公告)号: CN110168742A 公开(公告)日: 2019-08-23
发明(设计)人: 兰伯特·约翰·吉林斯;马丁恩·科普斯;吴宇;马切伊·克日什托夫·斯杜德林;马基恩·莱恩斯 申请(专利权)人: 荷兰应用自然科学研究组织TNO
主分类号: H01L31/0368 分类号: H01L31/0368;H01L31/068;H01L31/18;H01L31/0745
代理公司: 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 代理人: 王达佐;王艳春
地址: 荷兰*** 国省代码: 荷兰;NL
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摘要: 一种用于从具有前侧(4)、后侧(6)和边缘(8)的衬底(2)制造光伏电池的方法。在前侧(4)的至少一部分上设置第一类型的载流子选择性接触结构(4a)。施加具有由多晶硅层覆盖的薄氧化层的堆栈(10),其中,堆栈(10)施加至衬底(2)的后侧(6)和前侧(4),并且也可施加在边缘(8)上。然后,去除前侧(4)上的薄氧化层和多晶硅层的堆栈(10)。
搜索关键词: 堆栈 薄氧化层 多晶硅层 光伏电池 施加 衬底 载流子选择性 接触结构 多晶硅 钝化 去除 制造 覆盖
【主权项】:
1.用于从衬底(2)制造光伏电池的方法,所述衬底(2)具有前侧(4)、后侧(6)和边缘(8),所述方法包括:在所述前侧(4)的至少部分上设置第一类型的载流子选择性接触结构(4a);施加堆栈(10),所述堆栈(10)具有由多晶硅层覆盖的薄氧化层,其中,所述堆栈(10)施加至所述衬底(2)的所述后侧(6)和所述前侧(4);去除所述前侧(4)上的薄氧化层和多晶硅层的所述堆栈(10)。
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