[发明专利]用于高性能标准单元的多过孔结构有效

专利信息
申请号: 201780075100.2 申请日: 2017-12-08
公开(公告)号: CN110036477B 公开(公告)日: 2020-10-13
发明(设计)人: S·萨哈;X·陈;V·宝娜帕里;H·利姆;M·马拉布里;M·古普塔 申请(专利权)人: 高通股份有限公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02;H01L23/528;H01L27/118
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 王茂华;吕世磊
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种IC的MOS器件,包括pMOS和nMOS晶体管。MOS器件进一步包括:第一Mx层互连,其沿第一方向延伸并且将pMOS和nMOS晶体管漏极耦合在一起;以及第二Mx层互连,其沿第一方向延伸并且将pMOS和nMOS晶体管漏极耦合在一起。第一和第二Mx层互连是平行的。MOS器件进一步包括沿与第一方向正交的第二方向延伸的第一Mx+1层互连。第一Mx+1层互连被耦合到第一Mx层互连和第二Mx层互连。MOS器件进一步包括沿第二方向延伸的第二Mx+1层互连。第二Mx+1层互连被耦合到第一Mx层互连和第二Mx层互连。第二Mx+1层互连与第一Mx+1层互连平行。
搜索关键词: 用于 性能 标准 单元 结构
【主权项】:
1.一种集成电路(IC)的金属氧化物半导体(MOS)器件,包括:多个p型MOS(pMOS)晶体管,每个pMOS晶体管具有pMOS晶体管栅极、pMOS晶体管漏极和pMOS晶体管源极,每个pMOS晶体管栅极沿第一方向延伸;多个n型MOS(nMOS)晶体管,每个nMOS晶体管具有nMOS晶体管栅极、nMOS晶体管漏极和nMOS晶体管源极,每个nMOS晶体管栅极沿所述第一方向延伸,每个nMOS晶体管栅极与对应的pMOS晶体管栅极通过沿所述第一方向延伸的相同栅极互连形成;第一金属x(Mx)层互连,沿所述第一方向延伸,并且将所述pMOS晶体管漏极耦合到所述nMOS晶体管漏极;第二Mx层互连,沿所述第一方向延伸,并且将所述pMOS晶体管漏极耦合到所述nMOS晶体管漏极,所述第二Mx层互连与所述第一Mx层互连平行;第一金属x+1(Mx+1)层互连,沿与所述第一方向正交的第二方向延伸,所述第一Mx+1层互连被耦合到所述第一Mx层互连和所述第二Mx层互连;以及第二Mx+1层互连,沿所述第二方向延伸,所述第二Mx+1层互连被耦合到所述第一Mx层互连和所述第二Mx层互连,所述第二Mx+1层互连与所述第一Mx+1层互连平行,所述第一Mx+1层互连和所述第二Mx+1层互连是所述MOS器件的输出。
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