[发明专利]用于高性能标准单元的多过孔结构有效

专利信息
申请号: 201780075100.2 申请日: 2017-12-08
公开(公告)号: CN110036477B 公开(公告)日: 2020-10-13
发明(设计)人: S·萨哈;X·陈;V·宝娜帕里;H·利姆;M·马拉布里;M·古普塔 申请(专利权)人: 高通股份有限公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02;H01L23/528;H01L27/118
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 王茂华;吕世磊
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 用于 性能 标准 单元 结构
【权利要求书】:

1.一种集成电路的金属氧化物半导体MOS器件,包括:

多个pMOS晶体管,每个pMOS晶体管具有pMOS晶体管栅极、pMOS晶体管漏极和pMOS晶体管源极,每个pMOS晶体管栅极沿第一方向延伸并且由栅极互连形成;

多个nMOS晶体管,每个nMOS晶体管具有nMOS晶体管栅极、nMOS晶体管漏极和nMOS晶体管源极,每个nMOS晶体管栅极沿所述第一方向延伸并且由所述栅极互连形成;

第一金属x层互连,沿所述第一方向延伸,并且将所述pMOS晶体管漏极耦合到所述nMOS晶体管漏极;

第二金属x层互连,沿所述第一方向延伸,并且将所述pMOS晶体管漏极耦合到所述nMOS晶体管漏极,所述第二金属x层互连与所述第一金属x层互连平行;

第一金属x+1层互连,沿与所述第一方向正交的第二方向延伸,所述第一金属x+1层互连被耦合到所述第一金属x层互连和所述第二金属x层互连;以及

第二金属x+1层互连,沿所述第二方向延伸,所述第二金属x+1层互连被耦合到所述第一金属x层互连和所述第二金属x层互连,所述第二金属x+1层互连与所述第一金属x+1层互连平行,所述第一金属x+1层互连和所述第二金属x+1层互连是所述MOS器件的输出。

2.根据权利要求1所述的MOS器件,进一步包括沿所述第一方向延伸的金属x+2层互连,所述金属x+2层互连被耦合到所述第一金属x+1层互连和所述第二金属x+1层互连。

3.根据权利要求2所述的MOS器件,其中所述MOS器件在标准单元内,并且所述金属x+2层互连延伸到所述标准单元外部以与另一标准单元的输入耦合。

4.根据权利要求2所述的器件,其中所述金属x+2层互连通过过孔x+1层上的第一Vx+1过孔被耦合到所述第一金属x+1层互连,并且通过所述过孔x+1层上的第二Vx+1过孔被耦合到所述第二金属x+1层互连。

5.根据权利要求4所述的MOS器件,其中所述MOS器件被配置为使得输出电流通过所述第一Vx+1过孔和所述第二Vx+1过孔流到所述金属x+2层互连。

6.根据权利要求1所述的MOS器件,其中所述第一金属x+1层互连通过过孔x层上的第一Vx过孔被耦合到所述第一金属x层互连,并且通过所述过孔x层上的第二Vx过孔被耦合到所述第二金属x层互连,并且其中所述第二金属x+1层互连通过所述过孔x层上的第三Vx过孔被耦合到所述第一金属x层互连,并且通过所述过孔x层上的第四Vx过孔被耦合到所述第二金属x层互连。

7.根据权利要求6所述的MOS器件,其中所述MOS器件被配置为使得输出电流通过所述第一Vx过孔和所述第二Vx过孔流到所述第一金属x+1层互连,并且通过所述第三Vx过孔和所述第四Vx过孔流到所述第二金属x+1层互连。

8.根据权利要求1所述的MOS器件,其中x为1。

9.根据权利要求1所述的MOS器件,进一步包括:

第一金属x-1层互连,沿所述第二方向延伸并且将所述pMOS晶体管漏极耦合在一起,所述第一金属x层互连和所述第二金属x层互连被耦合到所述第一金属x-1层互连;以及

第二金属x-1层互连,沿所述第二方向延伸并且将所述nMOS晶体管漏极耦合在一起,所述第一金属x层互连和所述第二金属x层互连被耦合到所述第二金属x-1层互连。

10.根据权利要求9所述的MOS器件,进一步包括第三金属x-1层互连,所述第三金属x-1层互连沿所述第二方向延伸并且将所述pMOS晶体管栅极和所述nMOS晶体管栅极耦合在一起。

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