[发明专利]用于高性能标准单元的多过孔结构有效
申请号: | 201780075100.2 | 申请日: | 2017-12-08 |
公开(公告)号: | CN110036477B | 公开(公告)日: | 2020-10-13 |
发明(设计)人: | S·萨哈;X·陈;V·宝娜帕里;H·利姆;M·马拉布里;M·古普塔 | 申请(专利权)人: | 高通股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02;H01L23/528;H01L27/118 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 王茂华;吕世磊 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 性能 标准 单元 结构 | ||
1.一种集成电路的金属氧化物半导体MOS器件,包括:
多个pMOS晶体管,每个pMOS晶体管具有pMOS晶体管栅极、pMOS晶体管漏极和pMOS晶体管源极,每个pMOS晶体管栅极沿第一方向延伸并且由栅极互连形成;
多个nMOS晶体管,每个nMOS晶体管具有nMOS晶体管栅极、nMOS晶体管漏极和nMOS晶体管源极,每个nMOS晶体管栅极沿所述第一方向延伸并且由所述栅极互连形成;
第一金属x层互连,沿所述第一方向延伸,并且将所述pMOS晶体管漏极耦合到所述nMOS晶体管漏极;
第二金属x层互连,沿所述第一方向延伸,并且将所述pMOS晶体管漏极耦合到所述nMOS晶体管漏极,所述第二金属x层互连与所述第一金属x层互连平行;
第一金属x+1层互连,沿与所述第一方向正交的第二方向延伸,所述第一金属x+1层互连被耦合到所述第一金属x层互连和所述第二金属x层互连;以及
第二金属x+1层互连,沿所述第二方向延伸,所述第二金属x+1层互连被耦合到所述第一金属x层互连和所述第二金属x层互连,所述第二金属x+1层互连与所述第一金属x+1层互连平行,所述第一金属x+1层互连和所述第二金属x+1层互连是所述MOS器件的输出。
2.根据权利要求1所述的MOS器件,进一步包括沿所述第一方向延伸的金属x+2层互连,所述金属x+2层互连被耦合到所述第一金属x+1层互连和所述第二金属x+1层互连。
3.根据权利要求2所述的MOS器件,其中所述MOS器件在标准单元内,并且所述金属x+2层互连延伸到所述标准单元外部以与另一标准单元的输入耦合。
4.根据权利要求2所述的器件,其中所述金属x+2层互连通过过孔x+1层上的第一Vx+1过孔被耦合到所述第一金属x+1层互连,并且通过所述过孔x+1层上的第二Vx+1过孔被耦合到所述第二金属x+1层互连。
5.根据权利要求4所述的MOS器件,其中所述MOS器件被配置为使得输出电流通过所述第一Vx+1过孔和所述第二Vx+1过孔流到所述金属x+2层互连。
6.根据权利要求1所述的MOS器件,其中所述第一金属x+1层互连通过过孔x层上的第一Vx过孔被耦合到所述第一金属x层互连,并且通过所述过孔x层上的第二Vx过孔被耦合到所述第二金属x层互连,并且其中所述第二金属x+1层互连通过所述过孔x层上的第三Vx过孔被耦合到所述第一金属x层互连,并且通过所述过孔x层上的第四Vx过孔被耦合到所述第二金属x层互连。
7.根据权利要求6所述的MOS器件,其中所述MOS器件被配置为使得输出电流通过所述第一Vx过孔和所述第二Vx过孔流到所述第一金属x+1层互连,并且通过所述第三Vx过孔和所述第四Vx过孔流到所述第二金属x+1层互连。
8.根据权利要求1所述的MOS器件,其中x为1。
9.根据权利要求1所述的MOS器件,进一步包括:
第一金属x-1层互连,沿所述第二方向延伸并且将所述pMOS晶体管漏极耦合在一起,所述第一金属x层互连和所述第二金属x层互连被耦合到所述第一金属x-1层互连;以及
第二金属x-1层互连,沿所述第二方向延伸并且将所述nMOS晶体管漏极耦合在一起,所述第一金属x层互连和所述第二金属x层互连被耦合到所述第二金属x-1层互连。
10.根据权利要求9所述的MOS器件,进一步包括第三金属x-1层互连,所述第三金属x-1层互连沿所述第二方向延伸并且将所述pMOS晶体管栅极和所述nMOS晶体管栅极耦合在一起。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
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