[发明专利]角耦接谐振器阵列在审
| 申请号： | 201780073619.7 | 申请日： | 2017-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN110024284A | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 维莱·卡亚卡里 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/00 | 分类号： | H03H9/00;H03H9/02;H03H9/17;H03H9/50 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 唐京桥;杨林森 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供了在高频应用中具有改善的电气特性和减小的动态阻抗的MEMS谐振器阵列。MEMS谐振器阵列包括一对第一压电谐振器，所述一对第一压电谐振器彼此相对，所述一对第一压电谐振器之间限定有空间。此外，MEMS谐振器阵列包括一对第二压电谐振器，所述一对第二压电谐振器彼此相对并且分别耦接至第一压电谐振器中的每一个的相应角。照此，第二压电谐振器中的每一个被部分地设置在所述一对第一压电谐振器之间限定的空间中。 | ||
| 搜索关键词： | 压电谐振器 彼此相对 耦接 谐振器阵列 电气特性 动态阻抗 高频应用 减小 | ||
【主权项】：
1.一种微机电系统(“MEMS”)谐振器阵列，包括：至少一对第一压电谐振器，所述至少一对第一压电谐振器彼此相对，所述至少一对第一压电谐振器之间限定有空间；以及至少一对第二压电谐振器，所述至少一对第二压电谐振器彼此相对并且分别耦接至所述第一压电谐振器中的每一个的相应角，使得所述第二压电谐振器中的每一个被部分地设置在所述一对第一压电谐振器之间限定的空间中。
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