[发明专利]MEMS致动系统和方法有效
| 申请号： | 201780068626.8 | 申请日： | 2017-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN110267908B | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | 刘晓蕾;M·伍;王桂芹 | 申请（专利权）人： | 麦斯卓微电子（南京）有限公司 |
| 主分类号： | B81B5/00 | 分类号： | B81B5/00 |
| 代理公司： | 北京高文律师事务所 11359 | 代理人： | 王冬;马晓田 |
| 地址： | 211806 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 微机电系统(MEMS)致动器包括第一组致动指状物、第二组致动指状物，以及第一跨接结构，其配置成连接第一组致动指状物的至少两个指状物。同时跨接第二组致动指状物的至少一个指状物。 | ||
| 搜索关键词： | mems 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微机电系统(MEMS)致动器，包括：第一组致动指状物；第二组致动指状物；和第一跨接结构，配置为连接第一组致动指状物的至少两个指状物，同时跨接第二组致动指状物的至少一个指状物。
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