[发明专利]MEMS致动系统和方法

说明书

微机电系统(MEMS)致动器包括第一组致动指状物、第二组致动指状物，以及第一跨接结构，其配置成连接第一组致动指状物的至少两个指状物。同时跨接第二组致动指状物的至少一个指状物。

相关案件

本申请要求以下美国临时申请的权益：2016年9月12日提交的第62/393,436号、2016年9月12日提交的第62/393,419号、2016年11月8日提交的第62/419,117号、2016年11月9日提交的第62/419,814号以及2016年11月11日提交的第62/420,960号；它们的内容通过引用并入本申请。

技术领域

本公开通常涉及致动器，更具体地，涉及配置用于相机封装内的小型化MEMS致动器。

背景技术

如本领域所公知的，致动器可用于将电子信号转换成机械运动。在诸如便携式设备、成像相关设备、电信组件和医疗仪器的许多应用中，对于微型致动器来说适配在小尺寸、低功率和成本有限的这些应用内可能是有益的。

微机电系统(MEMS)技术在其最一般的形式中可以定义为使用微加工技术制造的小型化机械和机电元件的技术。MEMS器件的关键尺寸可以从远低于1微米到几毫米变化。通常，MEMS致动器比传统致动器更紧凑，并且它们消耗更少的功率。

发明内容

发明#1

在一个实施方式中，微机电系统(MEMS)致动器包括第一组致动指状物、第二组致动指状物，以及第一跨接结构，其配置成连接第一组致动指状物的至少两个指状物。同时跨接第二组致动指状物的至少一个指状物。

以下特征可以包括其中一个或多个。所述第一跨接结构可以配置为以一距离跨接第二组致动指状物的至少一个指状物，该距离配置为限定第二组致动指状物的至少一个指状物的第一轴/第一方向偏转的最大水平。所述第一跨接结构可以配置为限定第一跨接结构和第二组致动指状物的至少一个指状物之间的第一间隙，其中该第一间隙在0.1μm和5μm的范围内。第二跨接结构可以配置为连接第二组致动指状物的至少两个指状物，同时跨接第一组致动指状物的至少一个指状物。所述第二跨接结构可以配置为以一距离跨接第一组致动指状物的至少一个指状物，该距离配置为限定第二组致动指状物的至少两个指状物的第一轴/第二方向偏转的最大水平。所述第一跨接结构可以配置为限定第一跨接结构和第二组致动指状物的至少一个指状物之间的第一间隙，其中该第一间隙可在0.1μm和5μm的范围内。第一组致动指状物可以是一组固定的致动指状物。第二组致动指状物可以是一组可动的致动指状物。第二组致动指状物可以是在第二轴上双向可移位的并且在第三轴上基本上不可移位。第一组致动指状物可以由硅材料构成。第二组致动指状物可以由硅材料构成。第一跨接结构可以由金属材料构成。第二跨接结构可以由金属材料构成。

在另一实施方式中，微机电系统(MEMS)致动器包括第一组致动指状物、第二组致动指状物，以及第一跨接结构，所述第一跨接结构配置成连接第一组致动指状物的至少两个指状物，同时跨接第二组致动指状物的至少一个指状物，其中：第一跨接结构配置成以一距离跨越所述第二组致动指状物的至少一个指状物，该距离配置为限定第二组致动指状物的至少一个指状物的第一轴/第一方向偏转的最大水平，且所述第一跨接结构配置为限定第一跨接结构和第二组致动指状物的至少一个指状物之间的第一间隙，其中该第一间隙在0.1μm和5μm的范围内。

以下特征可以包括其中一个或多个。第二跨接结构可以配置为连接第二组致动指状物的至少两个指状物，同时跨接第一组致动指状物的至少一个指状物。所述第二跨接结构可以配置为以一距离跨接第一组致动指状物的至少一个指状物，该距离配置为限定第二组致动指状物的至少两个指状物的第一轴/第二方向偏转的最大水平。所述第一跨接结构可以配置为限定第一跨接结构和第二组致动指状物的至少一个指状物之间的第一间隙，其中该第一间隙可在0.1μm和5μm的范围内。