[发明专利]MEMS致动系统和方法有效
| 申请号： | 201780068626.8 | 申请日： | 2017-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN110267908B | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | 刘晓蕾;M·伍;王桂芹 | 申请（专利权）人： | 麦斯卓微电子（南京）有限公司 |
| 主分类号： | B81B5/00 | 分类号： | B81B5/00 |
| 代理公司： | 北京高文律师事务所 11359 | 代理人： | 王冬;马晓田 |
| 地址： | 211806 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 系统 方法 | ||
1.一种微机电系统(MEMS)致动器，包括：
第一组致动指状物；
第二组致动指状物；
第一跨接结构，配置为连接第一组致动指状物的至少两个指状物，同时跨接第二组致动指状物的至少一个指状物；和
第二跨接结构，配置为连接第二组致动指状物的至少两个指状物，同时跨接第一组致动指状物的至少一个指状物，其中，所述第二跨接结构配置为以一距离跨接第一组致动指状物的至少一个指状物，该距离配置为限定第二组致动指状物的至少两个指状物的第一轴/第二方向偏转的最大水平。
2.根据权利要求1所述的微机电系统(MEMS)致动器，其中，所述第一跨接结构配置为以一距离跨接第二组致动指状物的至少一个指状物，该距离配置为限定第二组致动指状物的至少一个指状物的第一轴/第一方向偏转的最大水平。
3.根据权利要求2所述的微机电系统(MEMS)致动器，其中，所述第一跨接结构配置为限定第一跨接结构和第二组致动指状物的至少一个指状物之间的第一间隙，其中该第一间隙在0.1μm和5μm的范围内。
4.根据权利要求1所述的微机电系统(MEMS)致动器，其中，所述第二跨接结构配置为限定第二跨接结构和第一组致动指状物的至少一个指状物之间的第一间隙，其中该第一间隙在0.1μm和5μm的范围内。
5.根据权利要求1所述的微机电系统(MEMS)致动器，其中，所述第一组致动指状物为一组固定的致动指状物。
6.根据权利要求1所述的微机电系统(MEMS)致动器，其中，所述第二组致动指状物为一组可动的致动指状物。
7.根据权利要求6所述的微机电系统(MEMS)致动器，其中，所述第二组致动指状物在第二轴上能够双向移位，且在第三轴上基本上不能移位。
8.根据权利要求1所述的微机电系统(MEMS)致动器，其中，所述第一组致动指状物由硅材料构成。
9.根据权利要求1所述的微机电系统(MEMS)致动器，其中，所述第二组致动指状物由硅材料构成。
10.根据权利要求1所述的微机电系统(MEMS)致动器，其中，所述第一跨接结构由金属材料构成。
11.根据权利要求1所述的微机电系统(MEMS)致动器，其中，所述第二跨接结构由金属材料构成。
12.根据权利要求1-11任一项所述的微机电系统(MEMS)致动器，其特征在于，所述第一跨接结构用于防止所述第一组致动指状物的所述至少两个指状物向下移动，所述第二跨接结构用于防止所述第一组致动指状物的所述至少一个指状物向上移动。
13.一种微机电系统(MEMS)致动器，包括：
第一组致动指状物；
第二组致动指状物；
第一跨接结构，配置为连接第一组致动指状物的至少两个指状物，同时跨接第二组致动指状物的至少一个指状物，其中：
所述第一跨接结构配置为以一距离跨接第二组致动指状物的至少一个指状物，该距离配置为限定第二组致动指状物的至少一个指状物的第一轴/第一方向偏转的最大水平，且
所述第一跨接结构配置为限定第一跨接结构和第二组致动指状物的至少一个指状物之间的第一间隙，其中该第一间隙在0.1μm和5μm的范围内；
第二跨接结构，配置为连接第二组致动指状物的至少两个指状物，同时跨接第一组致动指状物的至少一个指状物，其中：
所述第二跨接结构配置为以一距离跨接第一组致动指状物的至少一个指状物，该距离配置为限定第二组致动指状物的至少两个指状物的第一轴/第二方向偏转的最大水平，且
所述第二跨接结构配置为限定第二跨接结构和第一组致动指状物的至少一个指状物之间的第一间隙，其中该第一间隙在0.1μm和5μm的范围内。
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