[发明专利]TFT基板、具备TFT基板的扫描天线以及TFT基板的制造方法

摘要

TFT基板(105)具有：栅极金属层(3)，其包含TFT(10)的栅极电极(3G)和贴片电极(3PE)；栅极绝缘层(4)，其形成于栅极金属层上，具有到达贴片电极的第1开口部(4a)；源极金属层(7)，其形成于栅极绝缘层上，包含TFT的源极电极(7S)、漏极电极(7D)以及从漏极电极延伸设置的漏极延设部(7de)；层间绝缘层(11)，其形成于源极金属层上，具有在从电介质基板(1)的法线方向观看时与第1开口部重叠的第2开口部(11a)和到达漏极延设部的第3开口部(11b)；以及导电层(19)，其形成于层间绝缘层上，包含贴片漏极连接部(19a)。贴片漏极连接部在第1开口部内与贴片电极接触，在第3开口部内与漏极延设部接触。

主权项

1.一种TFT基板，具有电介质基板和在上述电介质基板上排列的多个天线单位区域，上述多个天线单位区域各自具有TFT和连接到上述TFT的漏极电极的贴片电极，上述TFT基板具备包含上述多个天线单位区域的发送接收区域和位于上述发送接收区域以外的区域的非发送接收区域，上述TFT基板的特征在于，具有：栅极金属层，其支撑于上述电介质基板，包含上述TFT的栅极电极、连接到上述栅极电极的栅极总线以及上述贴片电极；栅极绝缘层，其形成于上述栅极金属层上，具有到达上述贴片电极的第1开口部；源极金属层，其形成于上述栅极绝缘层上，包含上述TFT的源极电极、上述漏极电极、从上述漏极电极延伸设置的漏极延设部以及连接到上述源极电极的源极总线；层间绝缘层，其形成于上述源极金属层上，具有在从上述电介质基板的法线方向观看时与上述第1开口部重叠的第2开口部和到达上述漏极延设部的第3开口部；以及导电层，其形成于上述层间绝缘层上，包含贴片漏极连接部，上述贴片漏极连接部在上述第1开口部内与上述贴片电极接触，在上述第3开口部内与上述漏极延设部接触。