[发明专利]用于敷设碳层的设备和方法有效
| 申请号： | 201780061468.3 | 申请日： | 2017-10-04 |
| 公开（公告）号： | CN109804110B | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 多丽丝.斯坦米勒-内思尔;德特莱福.斯坦米勒 | 申请（专利权）人： | 碳能力有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B25/10 | 分类号： | C30B25/10;C23C16/27;C30B25/14;C30B25/16;C30B29/04;C23C16/455 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 任丽荣 |
| 地址： | 奥地利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于通过化学气相沉积法将碳层、尤其金刚石层敷设在基材(2、2a)上的设备(1)和方法，所述设备带有沉积室(3)，工艺气体、尤其分子氢和/或由分子氢和含碳气体、例如甲烷组成的混合物能够被供应到所述沉积室中，其中，设有呈中空体形式的气体导入和气体活化元件(7)，所述气体导入和气体活化元件具有工艺气体的流动通道(7b)、围绕所述流动通道(7b)的壁件(7a)和从流动通道(7b)通入沉积室(3)的排放口(16)，并且设有用于加热气体导入和气体活化元件(7)的壁件(7a)的加热设备(8)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 敷设 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于通过化学气相沉积法将碳层、尤其金刚石层敷设在基材(2、2a)上的设备(1)，所述设备带有沉积室(3)，工艺气体、尤其分子氢和/或由分子氢和含碳气体、例如甲烷组成的混合物能够被供应到所述沉积室中，其特征在于，设有呈中空体形式的气体导入和气体活化元件(7)，所述气体导入和气体活化元件(7)具有用于工艺气体的流动通道(7b)、围绕所述流动通道(7b)的壁件(7a)和从流动通道(7b)通入沉积室(3)中的排放口(16)，并且设有用于加热气体导入和气体活化元件(7)的壁件(7a)的加热设备(8)。
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