[发明专利]移动体装置、移动方法、曝光装置、曝光方法、平板显示器的制造方法、以及元件制造方法

摘要

本发明的移动体装置，具备可保持基板(P)往X轴及Y轴方向移动的基板保持具(32)、可往Y轴方向移动的Y粗动载台(24)、将基板保持具(32)的位置信息以设于基板保持具(32)的读头(74x、74y)与设于Y粗动载台(24)的标尺(72)加以取得的第1测量系统、将Y粗动载台(24)的位置信息以设于Y粗动载台(24)的读头(80x、80y)与标尺(78)加以取得的第2测量系统、以及根据以第1及第2测量系统取得的位置信息控制基板保持具(32)的位置的控制系统，第1测量系统一边使读头(74x、74y)相对标尺(72)往X轴方向移动一边照射测量光束，第2测量系统一边使读头(80x、80y)相对标尺(78)往Y轴方向移动一边照射测量光束。

主权项

1.一种移动体装置，具备：第1移动体，能保持物体往彼此交叉的第1方向与第2方向移动；第1测量系统，包含该第1及第2方向的测量成分、于该第1方向多个第1格子区域彼此分离配置且于该第2方向与该多个第1格子区域分离配置的多个第2格子区域于该第1方向彼此分离配置的第1格子构件、与一边相对该第1格子构件往该第1方向移动一边分别照射测量光束的多个第1读头中一方设于该第1移动体，该第1格子构件与该多个第1读头的另一方被设置成与该移动体对向，以该多个第1读头中、该测量光束照射到该多个第1及第2格子区域的至少2个的至少3个读头测量于该第1方向的该第1移动体的位置信息；第2移动体，设在该第1格子区域与该第1读头中的另一方，能往该第2方向移动；第2测量系统，包含该第1及第2方向的测量成分的第2格子构件、与一边相对该第2格子构件往该第2方向移动一边照射测量光束的第2读头中的一方设于该第2移动体，该第2格子构件与该第2读头中的另一方被设置成与该第2移动体对向，测量于该第2方向的该第2移动体的位置信息；以及控制装置，根据以该第1及第2测量系统测量的该位置信息，进行在包含该第1及第2方向的既定平面内的3自由度方向的该第1移动体的移动控制；该控制系统，根据使用该多个第1读头中、该测量光束照射到该多个第1及第2格子区域的至少2个的至少4个读头测量的该第1移动体的位置信息，取得与该多个第1及第2格子区域的至少2个相关的格子修正信息；该格子修正信息，是被用于使用该测量光束照射到该多个第1及第2格子区域中的至少2个的该至少3个读头的该第1移动体的移动控制。