[发明专利]利用全内反射的DOE缺陷监测有效
| 申请号： | 201780052635.8 | 申请日： | 2017-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN109642850B | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | B·S·麦德瓦;张梦 | 申请（专利权）人： | 苹果公司 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 吴信刚 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种光学装置(20)包括衍射光学元件(DOE‑26)，所述衍射光学元件(DOE‑26)具有至少一个光学表面、侧表面(34，36)，所述侧表面(34，36)与所述DOE的所述至少一个光学表面不平行，和光栅(30)，所述光栅(30)形成在所述至少一个光学表面上以便接收和衍射入射在所述光栅上的第一辐射。所述装置还包括至少一个次级辐射源(38)，所述至少一个次级辐射源(38)被配置为使第二辐射被定向成投射在所述侧表面上，使得所述第二辐射的至少一部分在从所述光栅内部地衍射时在所述DOE内传播，并且通过所述侧表面出射。所述装置还包括至少一个辐射检测器(40)，所述至少一个辐射检测器(40)被定位成使得接收并感测已通过所述侧表面出射的所述第二辐射的强度。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 反射 doe 缺陷 监测 | ||
【主权项】：
1.一种光学装置，包括：衍射光学元件(DOE)，包括：至少一个光学表面；侧表面，其中所述侧表面与所述DOE的所述至少一个光学表面不平行；和光栅，所述光栅形成在所述至少一个光学表面上以便接收和衍射入射到所述光栅上的第一辐射；至少一个次级辐射源，所述至少一个次级辐射源被配置为使第二辐射被定向成投射在所述侧表面上的第一位置，使得所述第二辐射的至少一部分在从所述光栅内部地衍射时在所述DOE内传播，并且通过所述侧表面上的至少一个第二位置出射；和至少一个辐射检测器，所述至少一个辐射检测器邻近所述至少一个第二位置定位以便接收并感测已通过所述侧表面出射的所述第二辐射的强度。
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