[发明专利]用于在真空腔室内运输载体的设备及用于在真空腔室内运输载体的方法在审
| 申请号： | 201780030505.4 | 申请日： | 2017-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN109716499A | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 奥利弗·海姆尔;克里斯蒂安·沃尔夫冈·埃曼;拉尔夫·林登贝格 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/683;C23C14/56;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供用于在真空腔室(101)内运输载体(10)的设备(100)。设备(100)包含第一运输系统(112)，经构造以在运输方向(T)上沿着第一运输路径(T1)非接触地运输载体，及路径切换组件(150),具有载体保持部(151)，经构造以机械接触载体(10)以用于使载体在路径切换方向(S)上移动远离第一运输路径(T1)。进一步地，描述包含路径切换组件的系统，以及用于在真空腔室内运输载体的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 路径切换 室内运输 真空腔 运输路径 运输载体 第一运输系统 机械接触 载体保持 真空腔室 非接触 上移动 运输 | ||
【主权项】：
1.一种用于在真空腔室(101)内运输载体(10)的设备(100)，包含：第一运输系统(112)，所述第一运输系统(112)经构造以在运输方向(T)上沿着第一运输路径(T1)非接触地运输所述载体；及路径切换组件(150)，包含载体保持部(151)，所述载体保持部(151)经构造以机械接触所述载体(10)，以用于在路径切换方向(S)上将所述载体移动远离所述第一运输路径(T1)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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