[发明专利]氟化氯的供给方法有效
| 申请号： | 201780021363.5 | 申请日： | 2017-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN108883933B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 高桥至直;加藤惟人;樱井義将;滝泽浩树;菊池翔;川口真一;池谷庆彦;澁泽幸伸 | 申请（专利权）人： | 关东电化工业株式会社 |
| 主分类号： | C01B7/24 | 分类号： | C01B7/24;C07B39/00;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供稳定地产生产业上可利用的氟化氯(ClF)、可以控制流量、连续地供给的氟化氯供给装置及供给方法。本发明的氟化氯的供给方法为供给氟化氯的供给方法，所述氟化氯是通过将含有氟原子的气体和含有氯原子的气体导入到流通式的加热反应装置或等离子体反应装置而产生的，对于难以高压填充、可以填充到储气瓶等气体容器的量有限的氟化氯而言，通过使能够安全地液化填充到气体容器的2种以上的气体原料反应、或这种气体原料与固体原料反应，能够稳定地产生氟化氯并安全地连续长时间供给。 | ||
| 搜索关键词： | 氟化 供给 方法 | ||
【主权项】：
1.一种氟化氯的供给方法，其特征在于，其为供给氟化氯的氟化氯的供给方法，所述氟化氯是通过将作为原料的含有氟原子的气体和含有氯原子的气体导入到流通式反应装置而产生的，其中，通过调节作为原料的含有氟原子的气体和含有氯原子的气体的流量，调节所供给的氟化氯的流量。
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