[发明专利]氟化氯的供给方法

权利要求书

1.一种氟化氯的供给方法，其特征在于，其为供给氟化氯的氟化氯的供给方法，所述氟化氯是通过将作为原料的含有ClF₃或F₂的气体和含有Cl₂的气体导入到流通式反应装置而产生的，其中，通过调节作为原料的含有ClF₃或F₂的气体和含有Cl₂的气体的流量，调节所供给的氟化氯的流量，所产生的氟化氯含有50.000～99.999vol％浓度的ClF，所述流通式反应装置为选自由流通式的加热反应装置和具备等离子体产生装置的流通式反应装置组成的组中的至少一种。

2.根据权利要求1所述的氟化氯的供给方法，其特征在于，其具备：通过冷却而将在所述反应装置后段产生的氟化氯液化并储藏的机构；进一步在其后段调节气体的压力的机构；在其进一步后段控制气体流量的机构，

将所产生的氟化氯暂时液化，供给时加热其储藏机构，由此将氟化氯进行气化，通过压力调节机构和流量控制机构稳定地供给氟化氯。

3.一种氟化氯的供给方法，其特征在于，其为供给氟化氯的氟化氯的供给方法，所述氟化氯是通过向导入有作为原料的含有氟原子的金属盐或金属氟化物的加热式反应装置导入含有氯原子的气体而产生的，其中，通过调节导入到反应器的含有氯原子的气体的流量，调节所供给的氟化氯的流量，所产生的氟化氯含有50.000～99.999vol％浓度的ClF。

4.根据权利要求3所述的氟化氯的供给方法，其特征在于，其具备：通过冷却而将在所述反应装置后段产生的氟化氯液化并储藏的机构；进一步在其后段调节气体的压力的机构；在其进一步后段控制气体流量的机构，

将所产生的氟化氯暂时液化，供给时加热其储藏机构，由此将氟化氯进行气化，通过压力调节机构和流量控制机构稳定地供给氟化氯。

5.根据权利要求3所述的氟化氯的供给方法，其特征在于，成为原料的含有氟原子的金属盐选自Na_xM_yF_z或K_xM_yF_z、或者金属氟化物以MF_n表示的金属氟化物盐中的1种以上，其中，Na_xM_yF_z或K_xM_yF_z中M为任意的金属原子、x、y、z为大于0的正数，MF_n中M为任意的金属原子、n为大于0的正数，含有氯的气体为选自Cl₂、NCl₃、BCl₃中的1种以上气体。

6.根据权利要求1所述的氟化氯的供给方法，其包括：

向加热反应装置内导入F₂气体将加热反应装置内的表面进行钝态化，

将来自含有ClF₃或F₂的气体的储气瓶和含有Cl₂的气体的储气瓶的气体的压力通过紧接着储气瓶之后的压力控制机构降低，

对于含有ClF₃或F₂的气体的流量和含有Cl₂的气体的流量进行控制，

将加热反应装置加热到200～400℃，将含有ClF₃或F₂的气体和含有Cl₂的气体导入到加热反应装置，生成氟化氯，

通过加热反应装置后段的压力调节机构，控制热反应装置内的压力，

控制氟化氯的供给流量。