[发明专利]层叠反射电极膜、层叠反射电极图案及层叠反射电极图案的制造方法有效
| 申请号: | 201780018466.6 | 申请日: | 2017-03-22 |
| 公开(公告)号: | CN108886857B | 公开(公告)日: | 2021-04-02 |
| 发明(设计)人: | 中泽弘实;石井博;岁森悠人;斋藤淳;林雄二郎 | 申请(专利权)人: | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号: | H05B33/26 | 分类号: | H05B33/26;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 刁兴利;康泉 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 本发明的层叠反射电极膜具有:Ag膜,由Ag或Ag合金构成;及透明导电氧化物膜,配置于所述Ag膜上,所述透明导电氧化物膜由氧化物构成,所述氧化物包含Zn和Ga,还包含Sn、Y及Ti中的一种或两种以上。 | ||
| 搜索关键词: | 层叠 反射 电极 图案 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种层叠反射电极膜,其特征在于,具有:Ag膜,由Ag或Ag合金构成;及透明导电氧化物膜,配置于所述Ag膜上,所述透明导电氧化物膜由氧化物构成,所述氧化物包含Zn和Ga,还包含Sn、Y及Ti中的一种或两种以上。
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