[发明专利]层叠反射电极膜、层叠反射电极图案及层叠反射电极图案的制造方法

说明书

本发明的层叠反射电极膜具有：Ag膜，由Ag或Ag合金构成；及透明导电氧化物膜，配置于所述Ag膜上，所述透明导电氧化物膜由氧化物构成，所述氧化物包含Zn和Ga，还包含Sn、Y及Ti中的一种或两种以上。

技术领域

本发明涉及一种例如能够用作有机电致发光(EL)元件的阳极的层叠反射电极膜、由该层叠反射电极膜构成的层叠反射电极图案及层叠反射电极图案的制造方法。

本申请主张基于2016年3月23日于日本申请的专利申请2016-059097号及2017 年2月13日于日本申请的专利申请2017-024269号的优先权，并将其内容援用于此。

背景技术

通常，有机EL显示器由排列在透明基板上的有机EL元件构成。有机EL元件由以规定的图案形成于透明基板上的阳极、有机EL发光层及阴极构成，且为利用如下原理的发光元件：从阳极向有机EL发光层注入正孔，且从阴极向有机EL发光层注入电子，正孔和电子在有机EL发光层中结合时发光。

作为有机EL元件的光的提取方式，已知有从透明基板侧提取光的底部发光方式及从与透明基板相反的一侧提取光的顶部发光方式。在此，与底部发光方式相比，顶部发光方式的开口率较高，因此有助于高亮度化。关于在顶部发光方式的有机EL元件中所使用的阳极，为了将在电场发光层中产生的光高效地提取到外部，期望反射率高、导电率高，并且期望功函数高以使能够高效地向电场发光层注入正孔。

例如，在专利文献1、2中，作为有机EL元件的阳极，可使用对金属膜的表面实施氧等离子体处理等而形成表面氧化膜，从而增加功函数的层叠膜。

并且，进一步在专利文献3、4、5中，作为有机EL元件的电极，使用在金属膜的表面形成有ITO膜等透明导电膜的层叠膜。而且，在专利文献6中，作为有机EL 元件的阳极，可使用向ITO膜的表面照射氧离子或电子来实施表面改性，从而增加功函数的表面改性ITO膜。

在专利文献7中记载有：在将Ag作为主要成分的导电层上层叠金属氧化物薄膜而成的层叠膜中，使用氧化锌(ZnO)、添加了铝的氧化锌(AZO)、添加了镓的氧化锌(GZO)来作为金属氧化物。

然而，如非专利文献1中所记载那样，包含ZnO的金属氧化物易溶解于在蚀刻法中所使用的抗蚀剂的剥离液(弱碱性)。因此，难以通过蚀刻法来将使用了AZO、GZO 等的包含ZnO的金属氧化物的层叠膜形成为如用作有机EL显示器用电极那样的微细的电极图案。

专利文献1：日本特开2006-294261号公报

专利文献2：国际公开第2010/032443号

专利文献3：日本特开2006-98856号公报

专利文献4：日本特开2011-9790号公报

专利文献5：日本特开2004-103247号公报

专利文献6：日本特开2000-133466号公报

专利文献7：日本特开2012-246511号公报

非专利文献1：日本学术振兴会透明氧化物光电子材料第166委员会编、“透明导电膜的技术(修订第2版)”、Ohmsha,Ltd.、2006年12月20日修订第2版第1次印刷发行、P.171～172(日本学術振興会透明酸化物光·電子材料第166委員会編、「透明導電膜の技術(改訂2版)」、株式会社オーム社、平成18年12月20日改訂2 版第1刷発行、P.171－172)

近来，推进有机EL元件等的微细化及高亮度化，对于上述层叠反射电极膜，要求与纯银同等的低电阻和高反射率。并且，制造有机EL元件时，需要通过蚀刻法能够容易地形成由层叠反射电极膜构成的微细的电极图案。