[发明专利]聚合物、正性抗蚀剂组合物以及形成抗蚀剂图案的方法有效
| 申请号： | 201780005224.3 | 申请日： | 2017-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN108473627B | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 星野学 | 申请（专利权）人： | 日本瑞翁株式会社 |
| 主分类号： | C08F212/04 | 分类号： | C08F212/04;C08F220/22;G03F7/039 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 赵曦;刘继富 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明的聚合物具有下述的通式(I)所示的单体单元(A)和通式(II)所示的单体单元(B)，单体单元(A)和单体单元(B)中的至少一者具有一个以上氟原子。另外，式中，R |
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| 搜索关键词： | 聚合物 正性抗蚀剂 组合 以及 形成 抗蚀剂 图案 方法 | ||
【主权项】：
1.一种聚合物，具有下述通式(I)所示的单体单元A和下述通式(II)所示的单体单元B：![]()
式(I)中，R1为氯原子、氟原子或被氟原子取代的烷基，R2为非取代的烷基或被氟原子取代的烷基，R3和R4为氢原子、氟原子、非取代的烷基或被氟原子取代的烷基，可以彼此相同也可以不同，![]()
式(II)中，R5、R6、R8及R9为氢原子、氟原子、非取代的烷基或被氟原子取代的烷基，可以彼此相同也可以不同，R7为氢原子、非取代的烷基或被氟原子取代的烷基，p和q为0以上且5以下的整数，p+q＝5，所述单体单元A和所述单体单元B中的至少一者具有一个以上氟原子。
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