[发明专利]研磨装置及研磨方法在审
| 申请号： | 201780001292.2 | 申请日： | 2017-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN108472783A | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | 中西正行;渡边敏史;小寺健治 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B21/00 | 分类号： | B24B21/00;B24B9/00;B24B49/12;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种研磨装置，即使斜角部的形状有各种状况，仍可根据研磨前的状态选择适当的研磨处理程序进行研磨。研磨装置(100)具有：保持基板(W1)而研磨的保持研磨部(102)；及辨识关于进行研磨前的基板(W1)外周部的状态的数据(104a)的辨识部(104)。保持研磨部(102)具有：保持基板(W1)使其旋转的保持部(106)；及将研磨部件按压于基板(W1)的外周部来研磨外周部的研磨部(108)。研磨条件决定部(110)根据表示外周部的形状是关于形状的多类型中的哪种类型的数据(104a)来决定研磨条件。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 外周部 基板 研磨装置 研磨部 研磨条件 辨识 按压 研磨部件 研磨处理 状态选择 多类型 斜角部 | ||
【主权项】：
1.一种研磨装置，其特征在于，具有：保持部，该保持部用于保持被研磨体；研磨部件，该研磨部件按压于所述被研磨体的外周部而用于研磨该外周部；研磨条件决定部，该研磨条件决定部根据关于进行所述研磨前的所述外周部的状态的数据，决定对应于所述状态的研磨条件；及控制部，该控制部按照所述研磨条件，以所述研磨部件研磨所述被研磨体的方式控制所述研磨部件。
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