[实用新型]在线槽式制绒上料机有效
申请号: | 201721919916.2 | 申请日: | 2017-12-29 |
公开(公告)号: | CN207909900U | 公开(公告)日: | 2018-09-25 |
发明(设计)人: | 董晓清;周波 | 申请(专利权)人: | 无锡市江松科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/677 |
代理公司: | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人: | 张欢勇 |
地址: | 214028 江苏省无锡市无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种在线槽式制绒上料机,包括导片盒以及运载导片盒的输送轨道,导片盒中存储有硅片,在运载导片盒的输送轨道一侧设置有硅片运载皮带,上下滑轨上设置有可上下滑动的花篮夹持装置,在硅片运载皮带的正下方还设置有空花篮输送轨道,空花篮输送轨道的延长线上还设置载片花篮输送轨道,载片花篮输送轨道的端部设置有花篮翻转机构,在花篮翻转机构上方还设置有水平滑轨,水平滑轨上设置有花篮机械手用于夹取花篮,在运载导片盒的输送轨道上方设置有吸盘组件用于将导片盒中的硅片运载到硅片运载皮带上。全程可以实现机械化运作,且通过花篮翻转机构,将花篮翻转后,方便花篮在水平台上堆积,一次性将多个花篮送入设备,提供效率。 | ||
搜索关键词: | 花篮 输送轨道 导片 硅片 运载 翻转机构 运载皮带 水平滑轨 上料机 槽式 载片 制绒 本实用新型 机械手 夹持装置 上下滑动 上下滑轨 送入设备 吸盘组件 延长线 一次性 翻转 夹取 机械化 堆积 存储 全程 运作 | ||
【主权项】:
1.一种在线槽式制绒上料机,其特征在于:包括导片盒以及运载导片盒的输送轨道,导片盒中存储有硅片,在运载导片盒的输送轨道一侧设置有硅片运载皮带,在硅片运载皮带的端部设置有上下滑轨,上下滑轨上设置有可上下滑动的花篮夹持装置,在硅片运载皮带的正下方还设置有空花篮输送轨道,空花篮输送轨道的延长线上还设置载片花篮输送轨道,载片花篮输送轨道的端部设置有花篮翻转机构,在花篮翻转机构上方还设置有水平滑轨,水平滑轨上设置有花篮机械手用于夹取花篮,在运载导片盒的输送轨道上方设置有吸盘组件用于将导片盒中的硅片运载到硅片运载皮带上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的