[实用新型]一种悬臂梁式磁传感器有效

专利信息
申请号: 201721875448.3 申请日: 2017-12-28
公开(公告)号: CN207938658U 公开(公告)日: 2018-10-02
发明(设计)人: 巫远招;刘宜伟;李润伟 申请(专利权)人: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
主分类号: H01L41/06 分类号: H01L41/06;H01L41/12;H01L41/47
代理公司: 宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33291 代理人: 单英
地址: 315201 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型提供了一种悬臂梁式磁传感器,包括底座与悬臂梁,悬臂梁的一端固定在底座上,另一端为自由端,并且悬臂梁上设置磁体。该磁传感器结构简单,工作状态时悬臂梁在振源作用下发生振动,当外界磁场作用于磁体,磁体产生磁扭矩使该振动的频率与振幅发生变化,通过检测该振动的频率与振幅实现该磁场的探测,由于悬臂梁的信号放大作用,能够实现高灵敏度的磁场探测。
搜索关键词: 悬臂梁 磁传感器 悬臂梁式 底座 磁传感器结构 信号放大作用 本实用新型 磁场探测 高灵敏度 外界磁场 磁扭矩 自由端 振源 磁场 探测 检测
【主权项】:
1.一种悬臂梁式磁传感器,其特征是:包括底座与悬臂梁,悬臂梁的一端固定在底座上,另一端为自由端;并且,悬臂梁上设置磁体;工作状态时,悬臂梁在振源作用下发生振动,当外界磁场作用于磁体,磁体产生磁扭矩使该振动的频率与振幅发生变化,通过检测该振动的频率与振幅实现该磁场的探测。
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