[实用新型]一种悬臂梁式磁传感器有效
| 申请号： | 201721875448.3 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN207938658U | 公开（公告）日： | 2018-10-02 |
| 发明（设计）人： | 巫远招;刘宜伟;李润伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | H01L41/06 | 分类号： | H01L41/06;H01L41/12;H01L41/47 |
| 代理公司： | 宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33291 | 代理人： | 单英 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 悬臂梁 磁传感器 悬臂梁式 底座 磁传感器结构 信号放大作用 本实用新型 磁场探测 高灵敏度 外界磁场 磁扭矩 自由端 振源 磁场 探测 检测 | ||
1.一种悬臂梁式磁传感器，其特征是：包括底座与悬臂梁，悬臂梁的一端固定在底座上，另一端为自由端；并且，悬臂梁上设置磁体；
工作状态时，悬臂梁在振源作用下发生振动，当外界磁场作用于磁体，磁体产生磁扭矩使该振动的频率与振幅发生变化，通过检测该振动的频率与振幅实现该磁场的探测。
2.如权利要求1所述的悬臂梁式磁传感器，其特征是：所述振源是压电晶振片。
3.如权利要求1所述的悬臂梁式磁传感器，其特征是：所述底座与悬臂梁安装在振源上；或者，将底座固定，振源安装在悬臂梁上。
4.如权利要求1所述的悬臂梁式磁传感器，其特征是：所述磁体呈薄膜状。
5.如权利要求4所述的悬臂梁式磁传感器，其特征是：所述薄膜厚度为100纳米～1000纳米。
6.如权利要求1所述的悬臂梁式磁传感器，其特征是：所述磁体设置在靠近悬臂梁自由端的位置。
7.如权利要求6所述的悬臂梁式磁传感器，其特征是：所述磁体设置在悬臂梁自由端的端部。
8.如权利要求1所述的悬臂梁式磁传感器，其特征是：所述悬臂梁的自由端固定连接另一底座。
9.如权利要求8至所述的悬臂梁式磁传感器，其特征是：所述悬臂梁呈U型结构。
10.如权利要求1至9中任一权利要求所述的悬臂梁式磁传感器，其特征是：所述悬臂梁为微纳米尺寸。
11.如权利要求1至9中任一权利要求所述的悬臂梁式磁传感器，其特征是：所述悬臂梁长度为1微米～500微米，宽度为1微米～100微米，厚度为1微米～50微米。
12.如权利要求10所述的悬臂梁式磁传感器，其特征是：所述底座为微纳米尺寸。
13.如权利要求12所述的悬臂梁式磁传感器，其特征是：所述底座的长度为50微米～5000微米，宽度为10微米～1000微米，厚度为5微米～500微米。
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