[实用新型]一种带流体压力测试功能的不锈钢CMP装置

摘要

本实用新型公开了一种带流体压力测试功能的不锈钢CMP装置，涉及化学机械抛光技术领域，它包括抛光辊电机、抛光辊、矩形抛光液喷头、电机支撑板、轨道、中空抛光带、液压升降装置、丝杠、联轴器、丝杠电机、流体压力传感器；本实用新型可以实时测试不锈钢带不同位置的流体压力，同时也可以单独测试不同抛光压力下、不同抛光速度以及不同流量抛光液等情况下的流体压力，抛光液输送装置采用矩形双侧喷头，保证两侧的抛光辊上的抛光液进给量相同，提高了抛光的效率，从节省空间的方面考虑，抛光机机架采用立式机架，空间利用率高，同时保证了抛光质量，大大降低加工成本，以满足人们的基本要求，具有很好的实用价值。

主权项

1.一种带流体压力测试功能的不锈钢CMP装置，包括机架，其特征在于：所述机架的底板上固定设置有两个平行的轨道，所述轨道上部设置有丝杠，所述丝杠的一端通过联轴器连接有丝杠电机，所述丝杠的另一端通过轴承安装在轴承底座上，所述轴承底座固定在所述机架的底板上，所述丝杠电机固定在所述机架的底板上，所述丝杠贯穿的连接有滑块，所述滑块可移动的连接在所述轨道上，所述滑块上部固定安装有液压升降装置，所述液压升降装置上部固定连接有抛光带，所述抛光带上安装有多个流体压力传感器，所述机架的两个侧壁之间有两个抛光辊，所述的两个抛光辊逆时针运转，所述的两个抛光辊通过固定在所述机架侧壁的抛光辊电机驱动，所述抛光辊电机固定在所述机架的侧壁外部，所述的两个抛光辊设置在所述抛光带的上部，所述的两个抛光辊之间滑动连接有抛光液喷头，所述抛光液喷头通过支撑架固定在所述机架的侧壁上。