[实用新型]一种带流体压力测试功能的不锈钢CMP装置

说明书

本实用新型公开了一种带流体压力测试功能的不锈钢CMP装置，涉及化学机械抛光技术领域，它包括抛光辊电机、抛光辊、矩形抛光液喷头、电机支撑板、轨道、中空抛光带、液压升降装置、丝杠、联轴器、丝杠电机、流体压力传感器；本实用新型可以实时测试不锈钢带不同位置的流体压力，同时也可以单独测试不同抛光压力下、不同抛光速度以及不同流量抛光液等情况下的流体压力，抛光液输送装置采用矩形双侧喷头，保证两侧的抛光辊上的抛光液进给量相同，提高了抛光的效率，从节省空间的方面考虑，抛光机机架采用立式机架，空间利用率高，同时保证了抛光质量，大大降低加工成本，以满足人们的基本要求，具有很好的实用价值。

技术领域

本实用新型涉及化学机械抛光，特别是一种带流体压力测试功能的不锈钢CMP装置。

背景技术

目前，在我们国家，随着智能时代的到来，智能手机，平板，液晶电视等电子显示设备随处可见，作为显示器柔性衬底材料的不锈钢对表面的粗糙度和平整度要求越来越高。化学机械抛光作为抛光不锈钢表面的一种方式，抛光过程中存在的流体压力对抛光的材料去除率以及工件的表面粗糙度影响较大，流体压力过大或者过小都会降低抛光质量。

发明内容

本实用新型的目的是要提供一种带流体压力测试功能的不锈钢CMP装置。

为达到上述目的，本实用新型是按照以下技术方案实施的：一种带流体压力测试功能的不锈钢CMP装置，包括机架，所述机架的底板上固定设置有两个平行的轨道，所述轨道上部设置有丝杠，所述丝杠的一端通过联轴器连接有丝杠电机，所述丝杠的另一端通过轴承安装在轴承底座上，所述轴承底座固定在所述机架的底板上，所述丝杠电机固定在所述机架的底板上，所述丝杠贯穿的连接有滑块，所述滑块可移动的连接在所述轨道上，所述滑块上部固定安装有液压升降装置，所述液压升降装置上部固定连接有抛光带，所述抛光带上安装有多个流体压力传感器，所述机架的两个侧壁之间有两个抛光辊，所述的两个抛光辊逆时针运转，所述的两个抛光辊通过固定在所述机架侧壁的抛光辊电机驱动，所述抛光辊电机固定在所述机架的侧壁外部，所述的两个抛光辊设置在所述抛光带的上部，所述的两个抛光辊之间滑动连接有抛光液喷头，所述抛光液喷头通过支撑架固定在所述机架的侧壁上。

进一步的，所述的抛光带为中空抛光带。

进一步的，所述的中空抛光带为不锈钢带。

进一步的，所述的抛光辊电机是通过三角形的电机支撑板固定在机架侧壁外部。

进一步的，所述的抛光液喷头为矩形双侧喷头。

进一步的，所述的液压升降装置通过螺栓或石蜡固定在所述的滑块上。

与现有技术相比，本实用新型的一种带流体压力测试功能的不锈钢CMP装置，结构设计合理，安装使用便捷，抛光带上设置有流体压力传感器，可以实时测试不锈钢带不同位置的流体压力，同时也可以单独测试不同抛光压力下、不同抛光速度以及不同流量抛光液等情况下的流体压力，液压升降装置根据不同的流体压力调节上下升降的高度，以达到抛光质量更高的产品，抛光液输送装置采用矩形双侧喷头，保证两侧的抛光辊上的抛光液进给量相同，提高了抛光的效率，从节省空间的方面考虑，抛光机机架采用立式机架，空间利用率高，同时保证了抛光质量，大大降低加工成本，以满足人们的基本要求，具有很好的实用价值。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

附图标记：1、抛光辊电机；2、抛光辊；3、矩形抛光液喷头；4、电机支撑板；5、轨道；6、中空抛光带；7、液压升降装置；8、丝杠；9、联轴器；10、丝杠电机；11、机架；12、滑块。

具体实施方式

下面结合附图以及具体实施例对本实用新型作进一步描述，在此实用新型的示意性实施例以及说明用来解释本实用新型，但并不作为对本实用新型的限定。