[实用新型]一种高效加工CVD金刚石涂层拉丝模的设备有效
申请号: | 201721787239.3 | 申请日: | 2017-12-20 |
公开(公告)号: | CN207581928U | 公开(公告)日: | 2018-07-06 |
发明(设计)人: | 黄飞 | 申请(专利权)人: | 四川纳涂科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/27 | 分类号: | C23C16/27 |
代理公司: | 成都众恒智合专利代理事务所(普通合伙) 51239 | 代理人: | 王世权 |
地址: | 618000 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种高效加工CVD金刚石涂层拉丝模的设备,解决了现有技术在对拉丝模进行CVD涂层时涂层成品率低、以及涂层效率低的问题。本实用新型包括内底部设真空炉底座的真空炉,主正电极杆,主负电极杆,加工装置;加工装置包括正电极杆、负电极杆、支架、工作台、拉丝模夹持机构、正电极高温弹簧、负电极高温弹簧和钽丝,正电极杆和负电极杆各自的自由端竖直正对,钽丝依次穿过拉丝模夹持机构内所有待加工拉丝模的内孔并且其两端分别与正电极高温弹簧和负电极高温弹簧相固定。本实用新型结构简单、设计科学合理,使用方便,对拉丝模进行CVD涂层时涂层成品率高,涂层效率高。 | ||
搜索关键词: | 拉丝模 高温弹簧 本实用新型 负电极杆 正电极杆 涂层拉丝模 高效加工 夹持机构 加工装置 涂层效率 成品率 负电极 正电极 钽丝 真空炉底座 真空炉 自由端 工作台 内孔 竖直 正对 支架 穿过 加工 | ||
【主权项】:
1.一种高效加工CVD金刚石涂层拉丝模的设备,其特征在于:包括内底部设真空炉底座(2)的真空炉(1),均绝缘密封固定于所述真空炉(1)内的真空炉底座(2)上且相互平行的主正电极杆(3)和主负电极杆(4),以及等距固定于所述主正电极杆(3)和主负电极杆(4)之间的三组加工装置;所述加工装置包括垂直固定于所述主正电极杆(3)上的正电极杆(5)、垂直固定于所述主负电极杆(4)上的负电极杆(6)、设于所述真空炉底座(2)上的支架(8)、固定于所述支架(8)上并与所述真空炉底座(2)相垂直的工作台(9)、平行固定于所述工作台(9)上用于在竖直方向上等间距夹持10‑12只待加工拉丝模的拉丝模夹持机构(10)、以及钽丝(11),所述正电极杆(5)和所述负电极杆(6)各自的自由端竖直正对,所述正电极杆(5)的自由端固定有一根正电极高温弹簧(7),所述负电极杆(6)的自由端固定有一根负电极高温弹簧(12),所述钽丝(11)依次穿过所述拉丝模夹持机构(10)内所有待加工拉丝模的内孔并且其两端分别与所述正电极高温弹簧(7)和所述负电极高温弹簧(12)相固定,所述钽丝(11)在所述正电极高温弹簧(7)和所述负电极高温弹簧(12)的共同作用下被竖直拉直。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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