[实用新型]一种离子束横截面离子浓度检测系统有效
| 申请号： | 201721779624.3 | 申请日： | 2017-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN207851313U | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | 唐瑞龙;倪明明;洪纪伦;吴宗祐;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种离子束横截面离子浓度检测系统，包括：离子束、第一法拉第杯、第二法拉第杯及数据处理器；在X轴向上的第一法拉第杯，及与X轴向正交的Y轴向上的第二法拉第杯，可准确的反映离子束的实际分布状态，使得工作人员能准确的优化离子束，从而缩短了优化离子束的时间；提高后续制备的晶圆质量；有利于对异常离子束或事件的判断。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束 法拉第杯 离子浓度检测 本实用新型 数据处理器 分布状态 正交的 晶圆 制备 优化 | ||
【主权项】：
1.一种离子束横截面离子浓度检测系统，其特征在于，包括：离子束，所述离子束横截面包括水平X轴向及与所述X轴向正交的Y轴向；第一法拉第杯，位于所述离子束末端，沿所述X轴向运行，所述第一法拉第杯的接收面在所述Y轴向的宽度大于所述离子束横截面的Y轴向的宽度，用以接收所述离子束横截面的Y轴向排布的所述离子束；第二法拉第杯，沿所述Y轴向运行，所述第二法拉第杯的接收面在所述X轴向的长度大于所述离子束横截面的X轴向的长度，用以接收所述X轴向排布的所述离子束；数据处理器，连接所述第一法拉第杯及所述第二法拉第杯。
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