[发明专利]离子注入机的法拉第杯的磁性监控有效
| 申请号： | 200780050053.2 | 申请日： | 2007-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN101584019A | 公开（公告）日： | 2009-11-18 |
| 发明（设计）人： | 约瑟·P·迪宰桔雷斯契;摩根·D·艾文斯;杰·汤玛斯·舒尔;亚瑟温·谢帝;肯尼士·史温森 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/317;G01R19/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 美国麻*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于对离子注入机的法拉第杯进行磁性监控的方法。本发明包括：真空室及位于真空室内的法拉第杯，此法拉第杯用以在进入真空室的离子束路径内移动；磁性监控器放置于真空室周围，用以区分与法拉第杯相关联的磁场与杂散磁场。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 注入 法拉第 磁性 监控 | ||
【主权项】：
1.一种用于对离子注入工艺进行远程(remote)磁性监控的系统，包括：真空室；法拉第杯，位于所述真空室内，其中所述法拉第杯配置成在进入所述真空室的离子束路径内移动；以及磁性监控器，放置于所述真空室周围，其中所述磁性监控器配置成用以区分与所述法拉第杯相关联的磁场与杂散磁场。
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