[实用新型]一种小型等离子体化学气相沉积装置

摘要

一种小型等离子体化学气相沉积装置，涉及一种镀膜装置，所述装置主机位于机台上方，主机前面设有门，门上设有带挡板的观察窗和循环冷却水道；主机上端设有射频电源接入口和反应气体接入口，这两个接口共同接入导管，并连接匀气板与辉光发生板，辉光发生板连接有升降机构，并设有波纹管隔离密封装置；真空室采用方型结构，外部设有若干标准真空法兰接口、样品台位于真空室底部、辉光发生板的正下方；样品台设有加热或磁性吸附设施。本实用新型针对于实验室条件研发制造，整机十分小巧。使通入的反应气体更均匀。真空室预留多个真空法兰接口，方便接驳其它仪器设备、外壳有水冷装置，有效保护设备运行安全。 1

主权项

1.一种小型等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，所述装置主机位于机台上方，主机前面设有门，门上设有带挡板的观察窗和循环冷却水道；主机上端设有射频电源接入口和反应气体接入口，这两个接口共同接入导管，并连接匀气板与辉光发生板，辉光发生板连接有升降机构，并设有波纹管隔离密封装置；真空室采用方型结构，外部设有若干标准真空法兰接口、样品台位于真空室底部、辉光发生板的正下方；样品台设有加热或磁性吸附设施。

2.根据权利要求1所述的一种小型等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，所述真空室采用方型结构，其外部焊接着冷却水道。

3.根据权利要求1所述的一种小型等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，辉光发生板上方有三层带孔的匀气板。

4.根据权利要求1所述的一种小型等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，辉光发生板，通过一个陶瓷密封接头连接射频电源。