[实用新型]一种解决原硅片表面脏污的装置

摘要

本实用新型公开了一种解决原硅片表面脏污的装置，包括第一支撑架，第一支撑架的上表面设有第一皮带输送机，第一皮带输送机与水平面呈3‑5度角设置，第一皮带输送机的上表面前后两侧设有两个前后对称设置的第一护板，第一护板的外侧面设有第一托板，第一托板的上表面设有第二支撑杆，第二支撑杆的外侧面上端设有喷管，喷管的外侧面下端设有垂直向下设置的喷头，本解决原硅片表面脏污的装置，结构简单，操作方便，使用时占用空间小，可以快速对原硅片进行清洗，废液收集箱可以对清洗液进行收集，通过硅胶定位块可以将原硅片固定在第一皮带输送机上，灰尘过滤网可以将空气中的灰尘清除，通过热风机可以对硅胶片进行干燥处理。

主权项

1.一种解决原硅片表面脏污的装置，包括第一支撑架(3)，其特征在于：所述第一支撑架(3)的上表面设有第一皮带输送机(17)，第一皮带输送机(17)与水平面呈3‑5度角设置，第一皮带输送机(17)的上表面前后两侧设有两个前后对称设置的第一护板(24)，第一护板(24)的外侧面设有第一托板(20)，第一托板(20)的上表面设有第二支撑杆(5)，第二支撑杆(5)的外侧面上端设有喷管(15)，喷管(15)的外侧面下端设有垂直向下设置的喷头，第一皮带输送机(17)的下方设有清洗液储液箱(2)，清洗液储液箱(2)的上表面设有液泵(1)，液泵(1)的出液口通过引流管(14)与喷管(15)的上表面相连，第一皮带输送机(17)的右下方设有第二皮带输送机(8)，第二皮带输送机(8)的下表面设有第二支撑架(6)，第二皮带输送机(8)的前后两侧面设有两个前后对称设置的第二护板(7)，第二护板(7)的外侧面设有第二托板(4)，第二托板(4)上表面设有第二支撑杆(5)，第二支撑杆(5)的外侧面设有热风机(9)，热风机(9)的外侧面下端设有垂直向下设置的锥形排风管(10)，第二皮带输送机(8)的后侧设有过滤箱(13)，热风机(9)的进风口通过引风管(11)与过滤箱(13)的上表面相连，过滤箱(13)的上表面设有单片机(25)，单片机(25)的输入端与外部电源的输出端电连接，单片机(25)的输出端分别与液泵(1)、热风机(9)、第二皮带输送机(8)和第一皮带输送机(17)的输入端电连接。